[发明专利]根据图形特征对自动聚焦光强进行补偿的缺陷检测方法

权利要求书

1.一种根据图形特征对自动聚焦光强进行补偿的缺陷检测方法，其特征在于包括：

第一步骤，用于将芯片置于聚焦光路下，从而利用聚焦光路对具有不同电路特征区域的芯片上进行扫描；

第二步骤，用于根据扫描结果获得聚焦光路反射信号强度分布；

第三步骤，用于根据聚焦光路反射信号强度分布对芯片上的聚焦光路反射信号强度按照不同的强度梯度设定多个聚焦光路反射信号强度区域；

第四步骤，用于对所述多个聚焦光路反射信号强度区域中不满足焦距强度阈值要求的区域设定信号放大系数，并以所述信号放大系数来放大聚焦光路中照射所述不满足焦距强度的区域的聚焦光部分的强度；

第五步骤，用于利用所述聚焦光部分放大后的聚焦光路对芯片进行扫描。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测方法，其特征在于，聚焦光路中除所述聚焦光部分之外的部分的光强不变。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述信号放大系数等于焦距强度阈值除以通过第一步骤对所述不满足焦距强度的区域扫描得到的最小聚焦光路反射信号强度值。

4.根据权利要求1或2所述的缺陷检测方法，其特征在于，所述信号放大系数大于焦距强度阈值除以通过第一步骤对所述不满足焦距强度的区域扫描得到的最小聚焦光路反射信号强度值。