[发明专利]晶硅片切割液的固液分离方法

权利要求书

1.一种晶硅片切割液的固液分离方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）pH值调节：将待分离切割液的pH值调节至8～9，得到弱碱性浆液A；

（2）沉降分层：将浆液A静置10～20h，使其固体颗粒发生沉降并与其中的液体形成分层；

（3）虹吸分离：采用虹吸方式分离沉降分层后的上层清液，虹吸压力为0.01～0.05MPa，分离得到上层清液B和剩余浆液C；

（4）离心分离：将浆液C搅拌均匀后，在3000～5000转/分的条件下离心分离，得到上清液D；

（5）石英砂过滤：将清液B和D混合均匀后，再对其进行石英砂过滤，得滤液E；所述石英砂过滤为加压过滤，过滤压力为0.1～0.5MPa；所述石英砂过滤的石英砂体积为B、D混合液体积的10%～30%；

（6）吸附：向滤液E中加入吸附剂，并通过超声分散均匀，超声波频率为40~60KHz，时间30~60min，同时调节滤液pH值至5～7，使吸附剂捕捉并吸附其中的微小固体颗粒；

（7）压滤：将吸附后的液体在5～20MPa下压滤，得到滤液F；

（8）超滤：将滤液F再进行超滤，即得可重新使用的切割液。

2.根据权利要求1所述的晶硅片切割液的固液分离方法，其特征在于：所述吸附剂为活性炭、硅藻土、珍珠岩和活性白土中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的晶硅片切割液的固液分离方法，其特征在于：所述吸附剂的添加量为滤液E的0.01%~0.05wt%。

4.根据权利要求1所述的晶硅片切割液的固液分离方法，其特征在于：步骤（8）中所述超滤的滤膜孔径为0.05～1μm。