[发明专利]一种制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法

权利要求书

1.一种制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，包括以下步骤：

①制作馈源喇叭电铸芯模；

②对馈源喇叭电铸芯模表面进行预处理；

③在馈源喇叭电铸芯模表面增设抗蚀层；

④在馈源喇叭电铸芯模上进行精密电铸铜，得到电铸件；

⑤对电铸件进行脱模及抗蚀层后处理，得到馈源喇叭。

2.根据权利要求1所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，步骤①具体包括：通过机加工的方法制作所述馈源喇叭电铸芯模。

3.根据权利要求1或2所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，所述馈源喇叭电铸芯模由镁合金、铝合金或其他易溶合金材料制作。

4.根据权利要求1所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，步骤②中，所述预处理过程包括：将芯模依次进行除油、酸蚀处理，处理后氮气吹干。

5.根据权利要求1所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，步骤③中，增设抗蚀层具体包括：在芯模表面依次制备粘附层、阻挡层及主导体层。

6.根据权利要求5所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，制备粘附层的方法采用电镀工艺、化学镀工艺或磁控溅射工艺中的一种；制备阻挡层的方法采用电镀工艺、化学镀工艺或磁控溅射工艺中的一种；制备主导体层的方法采用电镀工艺、化学镀工艺或磁控溅射工艺中的一种。

7.根据权利要求5所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，制备所述粘附层的材料为钛或钛钨合金；制备所述阻挡层的材料为镍、铂或钯中的一种；制备主导体层的材料为金。

8.根据权利要求1所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，步骤④中，精密电铸同时采用象形阳极、阴极旋转、镀液射流、双向脉冲及物理抛磨芯模的方式。

9.根据权利要求8所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，所述象形阳极为可拆卸锥形钛篮，安装在镀槽喷杯内侧，钛篮被喷杯上的喷嘴隔开成若干部分，钛篮上装有导电座。

10.根据权利要求8所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，所述镀液射流喷杯内壁上设有喷嘴，喷嘴为可拆卸空心螺纹管，镀液经磁力泵送往喷杯，经喷嘴射出形成射流。

11.根据权利要求8所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，所述物理抛磨的抛磨介质可以为抛光毡、聚氨酯、钢丝刷或其他硬性固体材料，抛磨介质经抛磨架固定在阴极轴承固定座上。

12.根据权利要求5所述的制作高频波纹馈源喇叭微细结构的精密电铸方法，其特征在于，步骤⑤具体包括：脱模以去除芯模，所述抗蚀层后处理包括依次溶解粘附层及阻挡层，并保留主导体层。