[发明专利]形成金属硅化物的方法及其湿法腐蚀混合液配方

权利要求书

1.一种形成金属硅化物的方法，包括：

在含单晶、非晶、多晶、微晶硅的晶圆表面上沉积镍基金属，含有镍以及至少第二种金属；

进行退火，使得镍基金属与晶圆表面暴露的硅反应形成镍基金属硅化物，所述镍基金属硅化物位于源漏、栅极区域；

在室温至80摄氏度下采用湿法腐蚀混合液以选择性的湿法腐蚀去除未与硅反应的镍基金属，其中混合液配方由碘盐、单质碘、有机或无机酸、以及溶剂组成，混合液的pH值达到0或以下。

2.如权利要求1的方法，其中，碘盐包括KI、NaI、LiI、CaI₂、MgI₂的任意一种及其组合；有机或无机酸包括HCl、HBr、H₃PO₄、H₂SO₄、HI、HIO₃、CH₃SO₃H的任意一种及其组合；溶剂为去离子水。

3.如权利要求1的方法，其中，碘盐与碘的摩尔比为2.5:1至1:0.8；碘盐与溶剂的重量比为1:25至1:3；有机或无机酸与溶剂的体积比为1:15至1:0.8。

4.如权利要求1的方法，其中，第二金属为Pt、Co的任意一种及其组合；镍基金属中镍的含量为90％～95％。

5.一种用于在室温至80摄氏度下湿法腐蚀去除镍基金属的腐蚀混合液配方，由碘盐、单质碘、有机或无机酸、以及溶剂组成，混合液的pH值达到0或以下。

6.如权利要求5的腐蚀混合液配方，其中，碘盐包括KI、NaI、LiI、CaI₂、MgI₂的任意一种及其组合；有机或无机酸包括HCl、HBr、H₃PO₄、H₂SO₄、HI、HIO₃、CH₃SO₃H的任意一种及其组合；溶剂为去离子水。

7.如权利要求5的腐蚀混合液配方，其中，碘盐与碘的摩尔比为2.5:1至1:0.8。

8.如权利要求5的腐蚀混合液配方，其中，碘盐与溶剂的重量比为1:25至1:3。

9.如权利要求5的腐蚀混合液配方，其中，有机或无机酸与溶剂的体积比为1:15至1:0.8。