[发明专利]一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法

权利要求书

1.一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法，其步骤如下：

步骤一：对具有高度立方织构金属NiW合金基片进行清洁处理；

步骤二：在稀释后浓度为30％-50％的硝酸溶液中悬空浸渍40-120秒，去除表面氧化，取出洗净晾干；

步骤三：将清洁处理后的立方织构金属NiW合金基片固定于加热台上，并加热至580-630摄氏度；

步骤四：以硝酸镁溶液为前驱液，利用超声雾化器将前驱液雾化喷涂在NiW合金基片，雾化喷涂采用喷涂20-60秒，停止40-120秒再重复喷涂的方式，总共持续10-30分钟；

步骤五：雾化喷涂结束后保温30-60分钟。

2.根据权利要求1所述的一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法，其步骤一中对涂层导体NiW合金基片进行清洁处理，依顺序采用99.99％的丙酮、酒精以及去离子水进行超声处理。

3.根据权利要求1所述的一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法，其步骤四中，硝酸镁溶液的浓度为0.3-1mol/L。

4.根据权利要求1所述的一种涂层导体用氧化镁缓冲层的超声喷雾热解制备方法，其步骤四中，喷涂时喷嘴至衬底的距离为4-8cm。