[发明专利]一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置

权利要求书

1.一种高精度晶圆背刻对中系统的校正方法及装置，本发明的特征利用玻璃片由于透光特性，捕捉到激光的刻划图案，利用对位相机组合的背刻对中系统的校正方法。

2. 其特征是利用玻璃片的透光原理来成像激光图案， 可设定对位相机的零位补偿，用于激光图案的校正。

3.同时利用电脑屏幕的尺寸， 直观的观测补偿的效果。

4.本发明的可以通过以下步骤来实现：

利用全屏幕的尺寸， 以晶圆的晶格为基础， 辅助“十字”线薄膜定位和对中相机同步补偿激光图像

利用激光在校正玻璃版刻画背刻“十字”， CCD相机捕捉图像， 计算图像偏差值， 通过电脑输送数据给激光控制软件， 自动校正激光图像与相机安装的系统偏差。

5.多次激光标刻和相机检查和测量两“十字”的偏差， 可以校正和得到相机与激光的系统偏差。

6. 校正玻璃版；正面贴黑色即时贴， 中间开窗标示涂黑位置。

7.手工在底面45度涂满单层黑色。

8.“十字”薄膜：可视化检查， 用于目测系统校正的结果。

9.目测相机电脑屏幕， 检查两个“十字”的重合情况。