[发明专利]一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构有效
| 申请号： | 201410402582.6 | 申请日： | 2014-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN104121984A | 公开（公告）日： | 2014-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;张国军;薛晨阳;张文栋;刘俊;熊继军;简泽明;刘梦然;郭楠;王续博;曾瑞 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 谐振 mems 矢量 水听器 结构 | ||
1.一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，其特征在于：包括四梁臂硅微结构（1）、微型柱状体（2）、中心连接体（3）、驱动电极（4）、检测电极（5）；
其中，四梁臂硅微结构（1）和中心连接体（3）均位于同一平面；微型柱状体（2）的下端垂直固定于中心连接体（3）的上表面中央；驱动电极（4）的数目、检测电极（5）的数目均为八个；
第一个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的前梁臂的上表面左前部；第二个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的前梁臂的上表面左后部；第三个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的左梁臂的上表面左后部；第四个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的左梁臂的上表面右后部；第五个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的后梁臂的上表面左前部；第六个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的后梁臂的上表面左后部；第七个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的右梁臂的上表面左后部；第八个驱动电极（4）铺设于四梁臂硅微结构（1）的右梁臂的上表面右后部；
第二个驱动电极（4）的极性与第一个驱动电极（4）的极性相反；第五个驱动电极（4）的极性与第二个驱动电极（4）的极性相反；第六个驱动电极（4）的极性与第五个驱动电极（4）的极性相反；第四个驱动电极（4）的极性与第三个驱动电极（4）的极性相反；第七个驱动电极（4）的极性与第四个驱动电极（4）的极性相反；第八个驱动电极（4）的极性与第七个驱动电极（4）的极性相反；
第一个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的前梁臂的上表面右前部；第二个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的前梁臂的上表面右后部；第三个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的左梁臂的上表面左前部；第四个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的左梁臂的上表面右前部；第五个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的后梁臂的上表面右前部；第六个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的后梁臂的上表面右后部；第七个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的右梁臂的上表面左前部；第八个检测电极（5）铺设于四梁臂硅微结构（1）的右梁臂的上表面右前部。
2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度谐振式MEMS矢量水听器结构，其特征在于：每个驱动电极（4）均由Pt/Ti层（8）、PZT压电薄膜（9）、Au层（10）自下而上层叠而成；每个检测电极（5）均由Pt/Ti层（8）、PZT压电薄膜（9）、Au层（10）自下而上层叠而成。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中北大学，未经中北大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410402582.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
