[发明专利]一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀

权利要求书

1.一种用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，包括上下对应连接的上阀体（8）和下阀体（1），并在上阀体（8）和下阀体（1）内安装阀座（2），阀座（2）内设有阀芯组件（4），其特征是，所述上阀体（8）内设有上阀体主通孔（81）和上阀体主通孔（81）下端的上阀体圆槽（83），所述上阀体主通孔（81）与上阀体圆槽（83）的中心轴线在一条直线且上阀体圆槽（83）的直径大于上阀体主通孔（81）的直径；

所述下阀体（1）内设有下阀体主通孔（11）和下阀体主通孔（11）上端的下阀体圆槽（13），所述下阀体主通孔（11）与下阀体圆槽（13）的中心轴线在一条直线且下阀体圆槽（13）的直径大于下阀体主通孔（11）的直径；所述上阀体圆槽（83）与下阀体圆槽（13）的直径相同且上阀体圆槽（83）的底端与下阀体圆槽（13）的顶端对接；

所述阀座包括阀座体、阀座体内部的阀座主通孔（22）、阀座主通孔（22）顶端的与阀座主通孔（22）连通的阀座上圆槽（23）、阀座主通孔（22）底端的与阀座主通孔（22）连通的阀座下圆槽（24），所述阀座上圆槽（23）、阀座主通孔（22）、阀座下圆槽（24）的中心轴线在一条直线，且阀座上圆槽（23）的直径大于阀座主通孔（22）的直径，阀座主通孔（22）的直径大于阀座下圆槽（24）的直径；阀座体包括上阀座体（25）和下阀座体（26），上阀座体（25）的外径大于下阀座体（26）的外径，上阀座体（25）的外径与下阀体圆槽（13）的直径一致，下阀座体（26）的外径与下阀体主通孔（11）直径一致； 

所述下阀座体（26）装入下阀体主通孔（11）上部，而上阀座体（25）置于下阀体圆槽（13）与上阀体圆槽（83）内；

所述阀芯组件从上至下依次包括阀芯顶板（41）、阀芯密封垫（42）、垫片（43），并设有锁紧螺钉（44）将阀芯顶板（41）、阀芯密封垫（42）和垫片（43）紧固；所述阀芯顶板（41）和阀芯密封垫（42）的直径均大于垫片（43）的直径，所述垫片（43）的直径与阀座下圆槽（24）直径一致，而阀芯顶板（41）与阀芯密封垫（42）的直径均小于阀座主通孔（22）的直径；所述阀芯顶板（41）的顶面设有阀芯顶板环形槽（45）；

所述垫片（43）安装在阀座下圆槽（24）内，而阀芯密封垫（42）和阀芯顶板（41）均置于阀座主通孔（22）内；

所述阀芯组件顶端安装压盖（6），压盖包括压盖圆盘（62）及压盖圆盘（62）顶端中心的压盖凸台（61），所述压盖圆盘（62）的直径与阀座主通孔（22）的直径一致；所述压盖圆盘（62）中均匀设有多个与压盖圆盘（62）上下两端导通的压盖通孔（63），而压盖圆盘（62）的底面设有压盖环形凹槽（65）；所述压盖圆盘（62）与阀芯密封垫（42）之间安装弹簧（5），弹簧（5）的顶端装在压盖环形凹槽（65）内，而弹簧（5）的底端装在阀芯顶板环形槽（45）；

所述压盖圆盘（62）安装在阀座主通孔（22）上部，压盖凸台（61）伸入上阀体主通孔（81）内；阀座上圆槽（23）内卡装钢丝挡圈（7），钢丝挡圈（7）置于压盖圆盘（62）顶端。

2.根据权利要求1所述用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，其特征是，该单向泄压阀还包括压盖运动导向机构，所述压盖运动导向机构包括安装在阀座主通孔（22）内的导向柱（21），并在压盖圆盘（62）的底面设有与导向柱（21）尺寸及位置一致的导向盲孔（64）。

3.根据权利要求1所述用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，其特征是，所述下阀体圆槽（13）顶端设有下阀体顶部凹槽（12）。

4.根据权利要求3所述用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，其特征是，所述上阀座（25）外壁安装O型密封圈（3），且该O型密封圈（3）置于下阀体顶部凹槽（12）内。

5.根据权利要求1-3之一所述用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，其特征是，所述上阀体（8）上部安装上阀体上部法兰（82），而上阀体（8）下部安装上阀体下部法兰（84），所述上阀体下部法兰（84）均匀设有多个上阀体下部法兰安装孔（85）。

6.根据权利要求5所述用于MOCVD设备真空系统的单向泄压阀，其特征是，所述下阀体（1）下部安装下阀体下部法兰（16），而下阀体（1）上部安装下阀体上部法兰（14），所述下阀体上部法兰（14）均匀设有多个与上阀体下部法兰安装孔（85）对应的下阀体上部法兰安装孔（15）。