[发明专利]一种非制冷型毫米波/红外叠层探测器

权利要求书

1.一种非制冷型毫米波/红外叠层探测器，包括微带天线、非制冷型探测器元件和读出电路，其特征在于，微带天线通过粘合剂粘贴在非制冷型探测器元件背面，非制冷型探测器元件的正面通过连接柱与读出电路连接；所述微带天线的绝缘介质基片的一面为石墨烯导电薄膜，石墨烯导电薄膜上刻蚀出的缝隙成阵列分布，在绝缘介质基片另一面，与石墨烯导电薄膜上每个缝隙对应位置都印制有金属馈线，所述的石墨烯导电薄膜透红外辐射，所述微带天线接收毫米波。

2.根据权利要求1所述的非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述石墨烯导电薄膜为2-8层石墨烯薄膜。

3.根据权利要求1所述的非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述的非制冷型探测器元件为InAsGa焦平面探测器，工作在室温环境下。

4.根据权利要求3所述的非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述的InAsGa焦平面探测器含有阵列分布的光敏元，金属馈线分布在光敏元之间的缝隙所对应的绝缘介质基片上。

5.根据权利要求4所述的非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述的光敏元之间的间隙为10-20微米。

6.根据权利要求1所述的非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述连接柱为铟柱。

7.根据权利要求1所述非制冷型毫米波/红外叠层探测器，其特征在于，所述绝缘介质基片材料选取二氧化硅、蓝宝石、氟化镁或者尖晶石。