[发明专利]一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液及其制备方法

权利要求书

1.一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，由以下A、B、C、D、E五种组分组成：

A组分为固体柠檬酸；

    B组分为双氧水；

  C组分为胺类化合物；

D组分为氨基酸类化合物；

E组分为去离子水； 

上述组分的加入量按质量计算为：A组分为5～150份，B组分为10～100份，C组分为1～20份，D组分为1～20份，E组分为100份。

2.根据权利要求1所述的一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，其特征在于：所述C组分选自氨、甲胺、乙胺、乙二胺、1,2一丙二胺、1,3一丙二胺、二乙烯三胺、三乙烯四胺、三胺基三乙胺、苯胺或苯二胺中的一种或多种混合而成。

3.根据权利要求1所述的一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，其特征在于：所述D组分选自甘氨酸、胧氨酸、邻氨基苯甲酸、天冬氨酸、谷氨酸、氨磺酸、亚氨二磺酸、氨二乙酸、氨三乙酸、乙二胺四乙酸、二乙三氨五乙酸、羟基乙二胺三乙酸或芳香环氨基酸中的一种或多种混合而成。

4.根据权利要求1所述的一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，其特征在于：所述A组分纯度为优级纯，纯度大于99.8%。

5.根据权利要求1所述的一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，其特征在于：所述B组分的质量浓度为30 %。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种对砷化镓太阳电池帽层进行选择性腐蚀的腐蚀液，其特征在于：所述A、B、C、D、E五种组分混合充分溶解后，加入氢氧化钠或氢氧化钾调节整个混合液的pH值为8-10。

7.一种上述权利要求1至6任一项所述腐蚀液的制备方法，包括以下步骤：

1、将固体柠檬酸倒入石英缸中；

2、往石英缸中加入去离子水；

3、同时往石英缸中加入胺类化合物及氨基酸类化合物，用玻璃棒搅拌同时给石英缸加热；

4、待充分溶解后，加入双氧水；

5、搅拌充分混合后，用氢氧化钠或氢氧化钾溶液调节混合液的pH值至8-10。