[发明专利]红外传感器模块

权利要求书

1.一种红外传感器模块，其特征在于，具有：

安装基板；

配置于所述安装基板上，检测红外线的红外传感器元件；

配置在与所述红外传感器元件相对的位置的透镜；

配置在所述安装基板上且通过支承所述透镜而能够将通过所述透镜的红外线聚集在所述红外传感器元件上的透镜支架；

所述透镜与所述透镜支架一体形成，

所述透镜及所述透镜支架通过硅材料的半导体工序一体形成，

在所述安装基板上，设置有通过载置所述透镜支架来调整所述透镜与所述红外传感器元件之间的距离的底座部。

2.如权利要求1所述的红外传感器模块，其特征在于，

所述半导体工序由硅材料的光刻工序和蚀刻工序的组合组成。

3.如权利要求1所述的红外传感器模块，其特征在于，

所述半导体工序由阳极氧化工序和氧化物的蚀刻工序的组合组成，所述阳极氧化工序根据透镜形状，隔着硅材料设置阳极电极及阴极电极，并且通过在电解液中向所述阳极电极与阴极电极之间通电，在所述硅材料的阴极电极侧形成多孔质部，所述氧化物的蚀刻工序除去所述多孔质部。

4.如权利要求1至3中任一项所述的红外传感器模块，其特征在于，

所述透镜支架具有与所述透镜同轴的筒状形状，

所述透镜为单面凸透镜，与所述透镜支架结合以封闭所述透镜支架的端面，并且在与所述透镜支架相反一侧具有凸侧的面。

5.如权利要求1至3中任一项所述的红外传感器模块，其特征在于，还具有电路部，该电路部配置于所述安装基板上，并且放大来自所述红外传感器元件的输出信号，

所述红外传感器元件在所述安装基板上配置为被所述透镜及所述透镜支架包围，

所述电路部配置在所述安装基板上的所述透镜支架的外部，

在所述安装基板上，在所述透镜的与所述红外传感器元件相反一侧的光学面向外部露出的状态下，将所述透镜支架及所述电路部树脂模制为一体。

6.如权利要求1至3中任一项所述的红外传感器模块，其特征在于，

在所述安装基板上，设置有限制所述透镜支架在所述安装基板上的位置的位置限制机构。

7.如权利要求1至3中任一项所述的红外传感器模块，其特征在于，

所述透镜支架的内壁由金属屏蔽。

8.如权利要求5所述的红外传感器模块，其特征在于，

在所述安装基板上，利用非导电性树脂对所述电路部的周围进行模制，

并且，利用导电性树脂，将所述透镜支架以及用所述非导电性树脂进行了模制的状态下的所述电路部模制为一体。