[发明专利]一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件

权利要求书

1.一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，包括连接体螺钉、挂接板和开关组件，其特征在于，通过连接体螺钉和挂接板的配合，能实现单晶硅生长炉的副炉室与炉盖间的连接和脱离；

挂接板为环形结构，安装在单晶硅生长炉的副炉室下法兰上，且挂接板能以副炉室下法兰为轴进行旋转，挂接板上设有至少两个弧形槽，弧形槽包括相互连接的大弧形和小弧形，大弧形的直径为d1，小弧形的直径为d2；

所述连接体螺钉包括依次连接的顶面、上圆柱、中圆柱、下圆柱，并通过下圆柱安装在单晶硅生长炉的炉盖上法兰上，炉盖上法兰上设有至少两个连接体螺钉；所述顶面是用于导向的圆锥球面结构，圆锥球面结构是指圆锥的顶点处为球面的结构，上圆柱、中圆柱和下圆柱的外径依次为D1、D2、D3；

单晶硅生长炉的副炉室下法兰上表面设有至少两个通孔，通孔分别与挂接板上对应的弧形槽连通，通孔的直径为d3；连接体螺钉、挂接板、通孔满足：D2、d2、D1、d1依次增大，且d3大于D1，d3大于D3，即连接体螺钉能穿过通孔进入弧形槽内，并通过旋转挂接板，连接体螺钉能在弧形槽的大弧形和小弧形内转换，使连接体螺钉在挂接板上完成挂接和脱离，实现炉盖与副炉室的连接和分离；副炉室下法兰上表面还设有两个深孔，用于实现挂接板在旋转到两个位置后的定位；

开关组件包括开关组件A和开关组件B，开关组件A用于控制单晶硅生长炉的副炉室、炉盖能否进行运动，开关组件B用于控制副炉室是单独运动还是与炉盖同时运动；

开关组件A包括弹簧销主体、压簧盖、手柄帽、弹簧销轴、弹簧和开关A，弹簧销主体安装在挂接板上，开关A也安装在挂接板上，压簧盖安装在弹簧销主体上，手柄帽安装在弹簧销轴上,弹簧销轴通过弹簧与弹簧销主体连接；通过旋转挂接板，在连接体螺钉与挂接板完成挂接和脱离的两个位置时，弹簧销轴在弹簧的张力作用下，能分别落入两个深孔中，弹簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能；

开关组件B包括开关B和撞块，开关B安装在挂接板上，撞块安装在副炉室下法兰的侧边，撞块设有一个斜面结构；通过旋转挂接板，弹簧销轴在两个深孔之间滑动时，开关B随挂接板一起旋转到撞块处，开关B的滑动组件沿撞块的斜面结构滑动，实现缓冲导向的作用。

2.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，其特征在于，所述开关组件A中，弹簧销的主体内设有一腔体，用于容纳弹簧销轴和弹簧在腔内活动；弹簧销轴包括用于止住弹簧的止口圆盘、用于锁住挂接板位置的小圆柱轴；手柄帽包括用于人工手动操作的小圆柱、用于触发开关A的大圆盘；开关A的前端带有一个能伸缩的触头，触头是能减少摩擦的滚轮，通过触发触头，工作在常开和常闭两种状态下，并反馈信号给外部进行判断。

3.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，其特征在于，所述开关组件B中，开关B的前端带有一个能伸缩的触头，触头是能减少摩擦的滚轮，用于作为开关B的滑动组件，通过触发触头，工作在常开和常闭两种状态下，并反馈信号给外部进行判断。

4.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，其特征在于，所述用于单晶硅生长炉的挂接板组件还设有保护装置，保护装置用于防止单晶硅生长炉的升降装置，在没有达到升降条件时，对单晶硅生长炉的炉盖、副炉室进行升降；升降条件是指开关组件A弹簧销轴落入副炉室下法兰上表面的深孔中，弹簧销轴上端面下降触发开关A实现自锁功能。

5.根据权利要求1所述的一种用于单晶硅生长炉的挂接板组件，其特征在于，所述挂接板上设有手柄，用于通过旋转手柄实现挂接板的旋转。