[发明专利]测试设备与相关方法在审
申请号: | 201410411864.2 | 申请日: | 2010-09-02 |
公开(公告)号: | CN104181449A | 公开(公告)日: | 2014-12-03 |
发明(设计)人: | 迈克勒·瓦佐勒 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R31/28;H01L31/18;H01L21/677 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 徐伟 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试 设备 相关 方法 | ||
1.一种用于测试太阳能电池或其他电子装置的测试设备,包括:
用于进行测试的每个基板(150)的支撑套件(18),其中所述支撑套件(18)包括多个测试孔洞(23),每个测试孔洞(23)适于允许插置所述设备的相应的电气测试探针(42),以使各探针(42)连接和/或接触所述基板(150)的对应测试区;以及
围绕每个测试孔洞(23)的多个吸引孔洞(24)。
2.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述测试设备包括支撑座(16),所述支撑座(16)实质上为平坦且可在所述支撑座(16)的一个表面上直接或间接支撑进行电气测试的至少一个基板(150)或其它装置,其中所述支撑座(16)包括多个贯通孔洞(22),各贯通孔洞适于插置所述测试设备的对应的电气测试探针(42)。
3.如权利要求2所述的测试设备,其特征在于,所述测试设备包括吸引构件(50),所述吸引构件(50)从所述测试探针(42)所在的同侧布设在所述支撑座(16)内,且可操作地经由吸引线(52)而连接至支撑套件(18)中的吸引孔洞(24),每个所述套件(18)包含在使用时可与所述支撑座(16)中的测试孔洞(22)对齐的测试孔洞(23),以允许相应的测试探针(42)通过,所述吸引构件(50)通过所述套件(18)中的所述吸引线(52)与所述吸引孔洞(24),经由压降对所述基板(150)的表面产生托持动作,以与所述测试探针(42)施加在所述测试区上的推挤动作相抗衡。
4.如权利要求1或2所述的测试设备,其特征在于,所述吸引构件(50)配置成与所述支撑座(16)的各贯通孔洞(22)配合运作。
5.如权利要求3所述的测试设备,其特征在于,所述吸引线(52)形成于所述套件(18)中,以限定吸引路径,所述吸引路径布设于各个所述测试孔洞(23)附近。
6.如权利要求3所述的测试设备,其特征在于,所述吸引线(52)具有吸引部分,这些吸引部分形成于各个测试孔洞(23)周围且至少部分围绕各个测试孔洞,每个部分通过所述吸引孔洞(24)连接至所述套件(18)的上表面。
7.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引部分为四边形。
8.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引部分为圆形。
9.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)的数量为五个至十个。
10.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)的数量为八个。
11.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)沿着各个吸引部分的配置而以规则方式分隔开。
12.如权利要求1或2所述的测试设备,其特征在于,所述支撑座(16)至少部分由非传导性材料所制成。
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