[发明专利]测试设备与相关方法在审

专利信息
申请号: 201410411864.2 申请日: 2010-09-02
公开(公告)号: CN104181449A 公开(公告)日: 2014-12-03
发明(设计)人: 迈克勒·瓦佐勒 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R31/28;H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 徐伟
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 测试 设备 相关 方法
【权利要求书】:

1.一种用于测试太阳能电池或其他电子装置的测试设备,包括:

用于进行测试的每个基板(150)的支撑套件(18),其中所述支撑套件(18)包括多个测试孔洞(23),每个测试孔洞(23)适于允许插置所述设备的相应的电气测试探针(42),以使各探针(42)连接和/或接触所述基板(150)的对应测试区;以及

围绕每个测试孔洞(23)的多个吸引孔洞(24)。

2.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述测试设备包括支撑座(16),所述支撑座(16)实质上为平坦且可在所述支撑座(16)的一个表面上直接或间接支撑进行电气测试的至少一个基板(150)或其它装置,其中所述支撑座(16)包括多个贯通孔洞(22),各贯通孔洞适于插置所述测试设备的对应的电气测试探针(42)。

3.如权利要求2所述的测试设备,其特征在于,所述测试设备包括吸引构件(50),所述吸引构件(50)从所述测试探针(42)所在的同侧布设在所述支撑座(16)内,且可操作地经由吸引线(52)而连接至支撑套件(18)中的吸引孔洞(24),每个所述套件(18)包含在使用时可与所述支撑座(16)中的测试孔洞(22)对齐的测试孔洞(23),以允许相应的测试探针(42)通过,所述吸引构件(50)通过所述套件(18)中的所述吸引线(52)与所述吸引孔洞(24),经由压降对所述基板(150)的表面产生托持动作,以与所述测试探针(42)施加在所述测试区上的推挤动作相抗衡。

4.如权利要求1或2所述的测试设备,其特征在于,所述吸引构件(50)配置成与所述支撑座(16)的各贯通孔洞(22)配合运作。

5.如权利要求3所述的测试设备,其特征在于,所述吸引线(52)形成于所述套件(18)中,以限定吸引路径,所述吸引路径布设于各个所述测试孔洞(23)附近。

6.如权利要求3所述的测试设备,其特征在于,所述吸引线(52)具有吸引部分,这些吸引部分形成于各个测试孔洞(23)周围且至少部分围绕各个测试孔洞,每个部分通过所述吸引孔洞(24)连接至所述套件(18)的上表面。

7.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引部分为四边形。

8.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引部分为圆形。

9.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)的数量为五个至十个。

10.如权利要求1所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)的数量为八个。

11.如权利要求6所述的测试设备,其特征在于,所述吸引孔洞(24)沿着各个吸引部分的配置而以规则方式分隔开。

12.如权利要求1或2所述的测试设备,其特征在于,所述支撑座(16)至少部分由非传导性材料所制成。

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