[发明专利]基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器

权利要求书

1.一种基于高Q环形谐振腔的石墨烯电光调制器，包括高Q环形谐振腔谐振系统，该系统包括环形波导（1）、in端输入以及out,drop双端输出；其特征在于：在环形波导（1）上取周长的一部分覆盖制作双层石墨烯薄膜调制系统（2），双层石墨烯薄膜调制系统（2）包括底层电介质层（2-1）、底层石墨烯（2-2）、中间电介质层（2-3）和顶层石墨烯（2-4），其中，在整个环形波导（1）的表面以及埋氧层（3）上位于环形波导（1）内外且紧邻环形波导（1）的表面覆盖底层电介质层（2-1）；在底层电介质层（2-1）的表面覆盖底层石墨烯（2-2），但位于环形波导（1）内的底层电介质层（2-1）的表面不覆盖底层石墨烯（2-2）；在底层石墨烯（2-2）的表面以及位于环形波导（1）内的底层电介质层（2-1）的表面覆盖中间电介质层（2-3）；在中间电介质层（2-3）的表面覆盖顶层石墨烯（2-4），但位于环形波导（1）外的中间电介质层（2-3）的表面不覆盖顶层石墨烯（2-4）；在顶层石墨烯（2-4）和底层石墨烯（2-2）之间加入电压V(t)。