[发明专利]一种太阳能电池及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201410418499.8 申请日: 2014-08-22
公开(公告)号: CN105449018A 公开(公告)日: 2016-03-30
发明(设计)人: 陈伟;刘尧平;杨丽霞;王燕;梁会力;梅增霞;杜小龙 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: H01L31/0256 分类号: H01L31/0256;H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/18
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇;王博
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能电池 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池,包括:N型黑硅衬底(3)、位于N型黑硅衬底(3)之下的第一Al2O3薄膜(2)、位于N型黑硅衬底(3)之上的第二Al2O3薄膜(4)以及位于第二Al2O3薄膜(4)之上的空穴输运层(5)。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池,还包括:位于所述空穴输运层(5)之上的透明导电薄膜(6)、位于所述透明导电薄膜(6)之上的金属栅电极(7)以及位于所述第一Al2O3薄膜(2)之下的金属背电极(1)。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池,其特征在于:所述空穴输运层(5)为过渡金属氧化物。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池,其特征在于:所述过渡金属氧化物为MoOx

5.根据权利要求2所述的太阳能电池,其特征在于:所述透明导电薄膜(6)为透明氧化铟锡或掺镓氧化锌或掺铝氧化锌。

6.一种太阳能电池的制备方法,包括以下步骤:

步骤一:在黑硅衬底(3)的背面制备第一Al2O3薄膜(2)以及在黑硅衬底(3)的正面制备第二Al2O3薄膜(4);

步骤二:在第二Al2O3薄膜(4)上面制备空穴输运层(5)。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制备方法,还包括以下步骤:

步骤三:在空穴输运层(5)上面制备透明导电薄膜(6);

步骤四:在透明导电薄膜(6)上面制备金属栅电极(7);

步骤五:在第一Al2O3薄膜(2)下面制备金属背电极(1)。

8.根据权利要求6或7所述的太阳能电池的制备方法,其特征在于:在步骤一中,在制备第一Al2O3薄膜(2)和第二Al2O3薄膜(4)之前,修饰所述黑硅衬底(3)的纳米结构。

9.根据权利要求6或7所述的太阳能电池的制备方法,其特征在于:在步骤一中,制备所述第一Al2O3薄膜(2)和第二Al2O3薄膜(4)的方法为ALD方法。

10.根据权利要求6或7所述的太阳能电池的制备方法,其特征在于:在步骤二中,制备所述空穴输运层(5)的方法为热蒸发MoO3粉末或反应磁控溅射Mo金属靶材或磁控溅射MoO3靶材。

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