[发明专利]用于可流动的氧化物沉积的组合物及其使用方法

权利要求书

1.一种制剂，其包含：

(a)式I的第一有机硅烷前体：

I.R¹R²R³R⁴Si

其中R¹、R²、R³和R⁴各自独立地选自氢原子；卤原子；C₁-C₁₂直链或支链烷基；C₂-C₁₂烯基；C₂-C₁₂炔基；C₃-C₁₂芳基；C₃-C₁₂环烷基；C₁-C₁₂烷氧基；C₅至C₁₂芳氧基；C₁至C₁₂酰氧基；C₅至C₁₂芳酰氧基；异氰酸基；具有式NR⁵R⁶的氨基；和具有式-CH₂Si(OR⁷)_nR⁸_3-n或-CH₂CH₂Si(OR⁷)_nR⁸_3-n的烷氧基甲硅烷基烷基，其中n是0至3的数；其中R⁵和R⁶独立地选自：氢原子、C₁-C₆直链或支链烷基、C₃至C₁₂环烷基、和C₃-C₁₂芳基；并且其中R⁵和R⁶连接成环或R⁵和R⁶不连接成环；其中R⁷和R⁸独立地选自：氢原子、C₁-C₆直链或支链烷基、C₃至C₁₂环烷基和C₃至C₁₂芳基；并且其中R⁷和R⁸连接成环或R⁷和R⁸不连接成环；并且

其中第一有机硅烷前体含有选自Si-H、Si-O和Si-N键的至少两个可水解的键；

(b)任选的不同于所述第一有机硅烷前体的第二有机硅烷前体，其选自：

(1)式III的化合物：

III.XSiR¹R²R³

其中X是选自F、Cl、Br和I的卤原子；

其中R¹、R²和R³各自独立地选自氢原子；卤原子；C₁-C₁₂直链或支链烷基；C₂-C₁₂烯基；C₂-C₁₂炔基；C₃-C₁₂芳基；C₃-C₁₂环烷基；C₁-C₁₂烷氧基；C₅-C₁₂芳氧基；C₁至C₁₂酰氧基；C₅至C₁₂芳酰氧基；异氰酸基；具有式-CH₂Si(OR⁷)_nR⁸_3-n或-CH₂CH₂Si(OR⁷)_nR⁸_3-n的烷氧基甲硅烷基烷基，其中n是0至3的数；

其中R⁷和R⁸独立地选自：氢原子、C₁-C₆直链或支链烷基、C₃至C₁₂环烷基和C₃至C₁₂芳基；并且其中R⁷和R⁸连接成环或R⁷和R⁸不连接成环；并且

其中在所述第二有机硅烷前体内的取代基R¹、R²和R³中的至少一个形成Si-H、Si-卤素、Si-O或Si-N键；和

(2)具有式IV的化合物，所述式IV为：

IV.(R⁵R⁶N)_nSiH_4-n

其中R⁵和R⁶独立地选自：氢原子、C₁-C₆直链或支链烷基、C₃至C₁₂环烷基和C₃至C₁₂芳基，其中R⁵和R⁶连接成环或R⁵和R⁶不连接成环；并且其中n＝1、2、3或4；

(c)任选的催化剂；和

(d)表面活性剂，其具有选自式A至D之一的化学式：

其中R₁和R₄各自独立地为直链或支链C₁-C₇烷基；R₂和R₃各自独立地为氢原子或直链或支链C₁-C₅烷基；R₅为氢原子或者直链或支链C₁-C₆烷基；W为氢原子或C₂-C₁₂炔基；X和Y为氢原子或羟基；Z是具有式-(CH₂)_j-或式-C≡C-的连接基团；t是0至2的数；m，n各自独立地为0到4的数；r为2或3；并且j为0至2的数；其中对于式A而言，当R₁为甲基且R₅和W都是氢原子时，t不为0。