[发明专利]一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置及其使用方法

权利要求书

1.一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置，其特征是：包括有半导体激光器、微光学透镜、六轴精密调节架、近场分光镜、近场柱面透镜、近场CCD、近场PC端、远场分光镜、远场柱面透镜、远场CCD、远场PC端和吸收池；所述半导体激光器发射出的激光束穿过固定在六轴精密调节架上的微光学透镜后射向近场分光镜；所述被近场分光镜反射后的激光束穿过近场柱面透镜后射向近场CCD；所述近场CCD能将收集到的数据传输到近场PC端；所述穿过近场分光镜的激光束射向远场分光镜；所述被远场分光镜反射后的激光束穿过远场柱面透镜后射向远场CCD；所述远场CCD能将收集到的数据传输到远场PC端；所述穿过远场分光镜的激光束射向吸收池。

2. 根据权利要求1所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置，其特征是：所述近场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的慢轴方向分布；所述近场分光镜的透反射比为1:1，射向近场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°。

3. 根据权利要求1所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置，其特征是：所述远场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的快轴方向分布；所述远场分光镜的透反射比为7:3；射向远场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°。

4. 一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法：其特征是包括以下步骤：

步骤一：首先设定坐标系：X方向为半导体激光器慢轴方向，Y方向为半导体激光器快轴方向，Z方向为半导体激光器光束岀射方向；然后将微光学透镜固定到六轴调节架上，同时通过近场柱面透镜将近场分光镜的反射光束收集进入近场CCD中；

步骤二：通过远场柱面透镜将远场分光镜的反射光束收集进入远场CCD中，同时将远场分光镜的透射光束导入吸收池；

步骤三：通过近场CCD的光斑数据变化，指导六轴调节架把微光学透镜在三个旋转轴向调节到最佳位置；

步骤四：通过远场CCD中的光斑数据变化，指导六轴调节架把微光学透镜在三个位移轴向调节到最佳位置。

5. 根据权利要求4所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法，其特征是：所述步骤一中，近场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的慢轴方向分布，其焦距为300~500mm,近场分光镜的透反射比为1:1，射向近场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°；在X方向和Y方向，近场分光镜的反射光束质心与近场柱面透镜的几何中心偏差均不大于±0.1mm，近场CCD和近场柱面透镜的最佳成像距离偏差不大于±1mm。

6. 根据权利要求4所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法，其特征是：所述步骤二中，远场柱面透镜的曲率沿半导体激光器的快轴方向分布，其焦距为300~500mm,远场分光镜的透反射比为7:3，射向远场分光镜的激光束的入射角度为45°±1°；在X方向和Y方向，远场分光镜的反射光束质心与远场柱面透镜的几何中心偏差均不大于±0.1mm，远场CCD和远场柱面透镜的像方焦点偏差不大于±1mm。

7. 根据权利要求4所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法，其特征是：所述步骤三中，微光学透镜的旋转轴最佳位置为近场CCD中光斑周围无阴影，最左侧发光点和最右侧发光点质心Y方向偏差不大于±5μm，所有发光点强度偏差小于±0.1%。

8. 根据权利要求4所述的一种半导体激光器中微光学透镜实现精密装调的在线监测装置的使用方法，其特征是：所述步骤四中，微光学透镜的位移轴最佳位置要求远场CCD中沿Y方向光斑尺寸达到最小。