[发明专利]一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置

权利要求书

1.一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其包括蚀刻槽，所述蚀刻槽内放置有待蚀刻石英棒，其特征在于：其还包括酸液储罐，所述酸液储罐的出液口连通所述蚀刻槽的酸液进口，所述蚀刻槽的高出设定液面高度的酸液回流进入酸液储罐，所述酸液储罐上布置有排液口、酸液进口，所述排液口外接有排液计量泵，加酸设备内分别盛装有独立布置的高浓度酸液容器，所述高浓度酸液容器分别通过独立管路、对应的高浓度酸液加酸计量泵后连通至对应的酸液进口；所述酸液储罐内布置有加热装置，测温装置的测温部分位于所述酸液储罐的液面以下，所述加热装置、测温装置分别连接至总电器柜的温度控制模块，在线酸分析仪的取样部分位于酸液储罐的液面以下，在线酸分析仪外接至所述总电器柜，所述总电器柜的控制部分分别连接排液计量泵、各个高浓度酸液加酸计量泵。

2.如权利要求1所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述蚀刻槽包括蚀刻腔体、回流腔体，所述蚀刻腔体、回流腔体通过高度固定的隔板隔开，所述回流腔体的底部设置有回流孔，所述回流孔通过外接管连通至所述酸液储罐。

3.如权利要求2所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述蚀刻槽的酸液进口位于所述蚀刻槽的蚀刻腔体的底部侧壁。

4.如权利要求1至3所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述酸液储罐的出液口和所述蚀刻槽的酸液进口之间的管路上设置有水泵，所述水泵和酸液储罐之间还设置有回流管路，所述回流管路的出口通入所述酸液储罐内。

5.如权利要求1所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述排液口外接所述排液计量泵后连通至废酸处理系统，所述在线酸分析仪的样品酸液储存腔连通至所述废酸处理系统。

6.如权利要求1所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述酸液内含有的酸的种类数量等于所述加酸设备内的高浓度酸液容器的数量，每个所述高浓度酸容器一一对应连接加酸计量泵，所述酸液进口的数量等于所述酸液内含有的酸的种类数量。

7.如权利要求1所述的一种光纤预制棒生产中蚀刻技术的精确控制装置，其特征在于：所述加酸计量泵、水泵、排液计量泵均为耐氢氟酸的泵。