[发明专利]一种光机一体化碳化硅反射镜及制备方法在审
| 申请号： | 201410423028.6 | 申请日： | 2014-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN104199171A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王诚;张兴德;杨百剑;李荣刚;李江勇 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B5/08 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 田卫平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 一体化 碳化硅 反射 制备 方法 | ||
1.一种光机一体化碳化硅反射镜，其特征在于，包括：碳化硅反射镜体、在所述碳化硅反射镜体的背面设置的碳化硅连接体，所述碳化硅反射镜体和所述碳化硅连接体为一体结构。
2.如权利要求1所述的光机一体化碳化硅反射镜，其特征在于，所述碳化硅连接体包括定位面、连接轴套和固定安装孔，所述固定安装孔分布在所述连接轴套周围，连接轴套的中心线垂直于定位面。
3.如权利要求2所述的光机一体化碳化硅反射镜，其特征在于，所述连接轴套的中心线穿过所述碳化硅反射镜体的反射面的中心点，所述连接轴套的中心线与所述碳化硅反射镜体的反射面夹角大于0°小于等于90°。
4.如权利要求1所述的光机一体化碳化硅反射镜，其特征在于，所述碳化硅反射镜体的背面设置有一个或多个减重孔。
5.如权利要求4所述的光机一体化碳化硅反射镜，其特征在于，所述减重孔为方形。
6.一种光机一体化碳化硅反射镜的制备方法，其特征在于，包括：
分别制备碳化硅反射镜体的坯体和碳化硅连接体的坯体；
将制备的所述碳化硅连接体的坯体粘接于所述碳化硅反射镜体的坯体背面，在高温反应烧结后，得到一体的光机一体化碳化硅反射镜的坯体；
对得到的所述光机一体化碳化硅反射镜的坯体进行处理，得到一体的光机一体化碳化硅反射镜。
7.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，
将所述碳化硅连接体的坯体通过陶瓷粘结剂粘接于所述碳化硅反射镜体的坯体背面，在1600℃高温条件下将陶瓷粘结剂碳化，再往上述两坯体的粘结部渗入液体硅，在高温反应烧结后陶瓷粘结剂生成碳化硅，得到一体的光机一体化碳化硅反射镜的坯体。
8.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，
对得到的所述光机一体化碳化硅反射镜的坯体的反射面进行表面化学气相沉积处理、研磨和抛光处理，并依次镀反射膜和保护膜。
9.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，
所述碳化硅连接体包括定位面、连接轴套和固定安装孔，所述固定安装孔分布在所述连接轴套周围，所述连接轴套的中心线垂直于所述定位面；对得到的所述光机一体化碳化硅反射镜的坯体的碳化硅连接体进行处理，使所述连接轴套的中心线穿过所述碳化硅反射镜体的反射面的中心点，所述连接轴套的中心线与所述碳化硅反射镜体的反射面夹角大于0°小于等于90°；使光机一体化碳化硅反射镜的质心在所述中心线上。
10.如权利要求6所述的制备方法，其特征在于，
所述碳化硅反射镜体背面设置一个或多个减重孔。
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