[发明专利]辉光离子氮化炉计算机多闭环控制系统

权利要求书

1.辉光离子氮化炉计算机多闭环控制系统，它包括离子氮化炉体(1)，位于离子氮化炉体(1)内的阴极盘(01)，位于所述阴极盘(01)上的工件(9)，所述的离子氮化炉体(1)位于底座(10)上，有电动机(5)通过皮带与真空泵(4)连接，真空泵(4)通过抽气管道(2)通入离子氮化炉体(1)内，在抽气管道(2)上有真空碟阀(3)；其特征在于还包括压力闭环控制系统(P)，第一流量闭环控制系统(L1)、第二流量闭环控制系统(L2)和温度闭环控制系统(T)；

所述的压力闭环控制系统(P)包括依次连接的压力变送器(6)、第一数字调节器(7)和三相变频器(8)，所述的压力变送器(6)通过数据采集通道(20)连接离子氮化炉体(1)，所述的三相变频器(8)通过三相交流电源连接电动机(5)；

所述的第一流量闭环控制系统(L1)包括依次连接的第一流量传感器(11)、第二数字调节器(12)和第一流量控制器(13)，所述的第一流量传感器(11)通过数据采集通道(20)连接离子氮化炉体(1)，所述的第一流量控制器(13)通入气体输送通道(22)；

所述的第二流量闭环控制系统(L2)包括依次连接的第二流量传感器(14)、第三数字调节器(15)和第二流量控制器(16)，所述的第二流量传感器(14)通过数据采集通道(20)连接离子氮化炉体(1)，所述的第二流量控制器(16)通入气体输送通道(22)；

所述的温度闭环控制系统(T)包括依次连接的温度传感器(17)、第四数字调节器(18)和离子加热脉冲电源(19)，所述的温度传感器(17)通过数据采集通道(20)连接离子氮化炉体(1)，所述离子加热脉冲电源(19)通过导线连接离子氮化炉体(1)。

2.根据权利要求1所述的辉光离子氮化炉计算机多闭环控制系统，其特征在于还包括计算机(24)，所述的计算机(24)通过通信数据总线(25)分别连接第一数字调节器(7)，第二数字调节器(12)，第三数字调节器(15)和第四数字调节器(18),所述的计算机(24)与位于离子加热脉冲电源(19)内的编程控制器(21)连接。

3.根据权利要求1或2所述的辉光离子氮化炉计算机多闭环控制系统，其特征在于所述的第一流量控制器(13)通过气体输送分通道(23)通入气体输送通道(22)。

4.根据权利要求1所述的辉光离子氮化炉计算机多闭环控制系统，其特征在于的所述的离子加热脉冲电源(19)内设置有编程控制器(21)。