[发明专利]带有铜合金背板的镍铂合金靶材及其制备方法

权利要求书

1. 一种带有铜合金背板的镍铂合金靶材的制备方法，其特征在于：包括依次进行的步骤如下：

（1）、在铜合金背板的待焊面加工一个直径大于镍铂合金靶材的直径，深度大于设计焊缝厚度的凹槽；

（2）、对加工有凹槽的铜合金背板和所述的镍铂合金靶材进行机加工，然后进行化学清洗；

（3）、在化学清洗后的铜合金背板和镍铂合金靶材的待焊面上均镀铬；

（4）、将镀铬后的铜合金背板放在带有加压装置的加热工作台上，待焊面朝上，然后在所述的铜合金背板的待焊面上放置一个直径等于设计焊缝厚度的铜丝，加热到200℃~250℃后保温，然后向所述的铜合金背板的待焊面上倒液态钎料，然后再将镀铬后的所述的镍铂合金靶材放置在倒有液态钎料的铜合金背板的凹槽中，然后进行加压焊接；

（5）、关闭所述的加压装置，冷却20~40min后清除多余的钎料，即得所述的带有铜合金背板的镍铂合金靶材。

2. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：所述的镍铂合金靶材的铂含量为5~20at.%。

3. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（1）中，所述铜合金背板的凹槽的深度为1~2mm，凹槽的直径比镍铂合金靶材坯料的直径大1~2mm。

4. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，机加工后所述镍铂合金靶材和铜合金背板的待焊面的粗糙度为1.2~1.6μm。

5. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（2）中，采用有机清洗溶剂进行所述的化学清洗，所述的有机清洗溶剂为异丁醇、异丙醇、混丙醇中的任一种。

6. 根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于：所述的有机清洗溶剂为异丙醇。

7. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（3）中，镀铬形成的镀铬层的厚度为50~100nm。

8. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，所述钎料为纯度为99.9%的无铅钎料。

9. 根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：步骤（4）中，所述的加压焊接的压强为10~20Mpa，保压20~40min。

10. 一种采用权利要求1至9中任一项所述的制备方法制得的带有铜合金背板的镍铂合金靶材。