[发明专利]耐高温无线MEMS温度传感系统

权利要求书

1.一种耐高温无线MEMS温度传感系统，其特征在于，包括：

无线问询单元，用于发送/接收电磁波信号，测量、存储和处理温度数据，并将所述温度数据作为最终传感信号；

声表面波谐振装置，所述声表面波谐振装置用于接收来自所述无线问询单元的所述电磁波信号，并将所述电磁波信号转换为声表面波后，再次将所述声表面波转换为新的电磁波信号，以及将所述新的电磁波信号反馈给所述无线问询单元；

显示装置，用于接收并显示来自所述无线问询单元的温度测量结果。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述声表面波谐振装置具体包括：

基底，所述基底由耐高温材料制成；

两个反射栅，所述反射栅设置在所述基底的上表面上且所述两个反射栅隔开；

叉指换能器，所述叉指换能器设置在所述基底的上表面上且位于所述两个反射栅之间；

小型天线，所述小型天线设置在所述基底的上表面上，所述小型天线与所述叉指换能器相连，用于接收和发送电磁波信号；以及

压电薄膜，所述压电薄膜设置在所述耐高温基底的上表面上，其中，所述两个反射栅、所述叉指换能器和所述小型天线位于所述基底和所述压电薄膜之间。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述耐高温材料为碳化硅。

4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述压电薄膜为氮化铝压电薄膜。

5.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述叉指换能器为金属叉指换能器。

6.如权利要求2-5任一项所述的声表面波谐振装置，其特征在于，所述反射栅为金属反射栅。

7.如权利要求2所述的系统，其特征在于，由所述声表面波谐振装置的谐振频率、所述叉指换能器的叉指间距和所述声表面波的传播速度确定所述叉指换能器的电极和所述反射栅的宽度。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述无线问询单元包括：

核心处理器；

直接数字频率合成器，所述直接数字频率合成器与所述核心处理器相连；

发射器，所述发射器与所述直接数字频率合成器相连；

双工器，所述双工器与所述发射器相连；

接收器，所述接收器与所述双工器相连；

探测器，所述探测器分别与所述接收器和所述核心处理器相连；

天线，用于发送和接收电磁波信号。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述核心处理器为ZigBee单片机。

10.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述无线问询单元通过所述天线向所述声表面波谐振装置发送电磁波信号或接收来自所述声表面波谐振装置发送的电磁波信号，并向所述显示装置发送所述温度测量结果。