[发明专利]含水样品的制备方法及分析方法有效
| 申请号： | 201410428528.9 | 申请日： | 2014-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN104236972B | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 邢珍相;邵京京;郝猛;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 含水 样品 制备 方法 分析 | ||
1.一种含水样品的制备方法，用于在高真空环境下进行水中氢、氧同位素含量的分析，该方法包括：
提供多个设定大小的载片；
在干燥的实验环境下，将载体放置在各个载片上；
在每个载片的载体上滴入氢、氧同位素含量不同的水，形成水合物；
将载片转移至初级真空室，将多余的水分挥发掉，形成所需含水样品。
2.如权利要求1所述的含水样品的制备方法，其特征在于，所述载片为矩形，设定大小为边长0.5cm-8cm。
3.如权利要求1所述的含水样品的制备方法，其特征在于，所述载体为不含氢氧元素的无水化合物。
4.如权利要求3所述的含水样品的制备方法，其特征在于，所述不含氢氧元素的无水化合物采用1mg-20mg。
5.如权利要求1所述的含水样品的制备方法，其特征在于，所述滴入的氢、氧同位素含量不同的水为0.01mL-0.1mL。
6.如权利要求1所述的含水样品的制备方法，其特征在于，所述载片为对经过预清洗的晶圆进行切割形成。
7.如权利要求1所述的含水样品的制备方法，其特征在于，在将载片转移至初级真空室之前，先将载片固定在高真空分析设备的样品台上。
8.一种含水样品的分析方法，包括：利用如权利要求1-7中任意一项所述的含水样品的制备方法获得的含水样品，将所述含水样品转移至高真空室进行分析。
9.如权利要求8所述的含水样品的分析方法，其特征在于，在将所述含水样品转移至高真空室之前，使得所述初级真空室的真空度至少是1E-6mbar。
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