[发明专利]生产支援系统以及生产支援方法

说明书

相关申请的参照：本申请享有2013年9月19日申请的日本专利申请号2013－194715的优先权利益，在本申请中援引该日本专利申请全部内容。

技术领域

在此说明的实施方式普遍涉及生产支援系统以及生产支援方法。

背景技术

近年来，对产品的最终品质(final quality)的管理越来越严格。例如，在半导体装置等电子器件的制造中，伴随着微小化的进展，对工序加工后的尺寸的管理也变得非常严格。

在此，作为控制量产阶段中的产品的最终品质的技术，已知有APC(Advanced Process Control：先进过程控制)。

如果通过APC调整制造装置的作业条件，则能够使产品的最终品质均匀控制在一定的水准内。

然而，APC一般在生产数量很多的情况下(例如，满负荷生产(full production)时)其效果(尺寸偏差的抑制或工序能力提高等)才最大。

因此，在生产数量较少的情况下(例如产品的更新换代所伴随的新产品的量产开始时、产品的更新换代所伴随的旧产品的减产时等)，产品的最终品质的偏差可能反而会变大。

发明内容

本发明的实施方式提供一种能够抑制产品的最终品质的偏差的生产支援系统以及生产支援方法。

实施方式所涉及的生产支援系统具备：生产信息保存部，保存与生产数有关的数据；制造装置信息保存部，保存与制造装置有关的数据；检查·计测装置信息保存部，保存与检查装置或者计测装置有关的数据；预定批量数运算部，根据所述与生产数有关的数据和所述与制造装置有关的数据，运算每个制造装置的预定生产数，根据所述与生产数有关的数据和所述与检查装置或者计测装置有关的数据，运算检查·计测比例，根据所述每个制造装置的预定生产数和所述检查·计测比例，运算成为最终品质的控制对象的产品的数量；以及第一控制方式运算部，根据所述成为最终品质的控制对象的产品的数量、预先求出的进行了组合反馈型和前馈型的APC时的产品的数量与最终品质的偏差之间的关系、进行了所述前馈型的APC时的最终品质的偏差、以及未进行组合所述反馈型和前馈型的APC时的最终品质的偏差，运算恰当的控制方式。

根据上述的结构，能够抑制产品的最终品质的偏差。

附图说明

图1是用于示例第一实施方式所涉及的生产支援系统的框图。

图2是用于示例控制方式运算部5对控制方式的选择的示意图表图。

图3是用于示例第二实施方式所涉及的生产支援系统的框图。

具体实施方式

以下，参照附图对多个实施方式进行说明。附图中，相同的附图标记表示相同或者类似的部分。

[第一实施方式]

图1是用于示例第一实施方式所涉及的生产支援系统的框图。

如图1所示，生产支援系统100中设有：输入部1、生产信息保存部2a、制造装置信息保存部2b、检查·计测装置信息保存部2c、预定批量数运算部3、最终品质信息保存部4、控制方式运算部5(相当于第一控制方式运算部的一例)、管理信息运算部6、输出部7。

输入部1用于输入用于确定成为对象的产品的数据、以及与制约条件有关的数据。

用于确定成为对象的产品的数据例如为品种、工序、对象期间、工序条件等。

关于与制约条件有关的数据，留待后述。

输入部1可以输入数据，也可以通过选择被显示的数据名等来进行输入。

例如，输入部1能够为键盘或条形码读取器等各种数据输入设备、具备显示部和选择开关的设备等。

输入部1将被输入的数据提供给预定批量数运算部3。

生产信息保存部2a按照各个产品保存与过去的生产业绩有关的数据、以及生产计划中的数据。

与过去的生产业绩有关的数据例如能够设为过去的每个产品的生产数等。

生产计划中的数据例如能够设为当前生产中或新开始生产的每个产品的生产数等。

生产信息保存部2a将所保存的数据提供给预定批量数运算部3。

制造装置信息保存部2b保存与制造装置有关的数据。

与制造装置有关的数据例如能够设为：生产线中设置的制造装置的台数(例如，台数、处理室(腔室)的数量等)、制造装置的种类(例如，蚀刻装置或成膜装置等)、各制造装置中的处理能力(例如，处理所需时间等)等。

制造装置信息保存部2b将所保存的数据提供给预定批量数运算部3。

检查·计测装置信息保存部2c保存与检查装置或者计测装置有关的数据。