[发明专利]插片机防破碎硅片缓冲装置

权利要求书

1.一种插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：包括隔板(5)、挂板(6)、滑轨(7)、花蓝限位板(61)、缓冲件安装板(62)和缓冲件(63)，隔板(5)水平间断地固定在两侧的挂板(6)上，在相邻两块隔板(5)之间形成容纳花蓝空间，挂板(6)与滑轨(7)配合，花蓝限位板(61)固定在两挂板(6)的后侧面上，当花蓝(4)插入后，花蓝限位板(61)与花蓝(4)的底部对应，在花蓝限位板(61)与花蓝(4)的底部对应面上设有缓冲件安装板(62)，缓冲件安装板(62)大小形状与花蓝(4)的底部开口相对应，在缓冲件安装板(62)的外露面上安装有缓冲件(63)，缓冲件(63)的外露面高于花篮(4)的底部挡板内侧面的高度。

2.根据权利要求1所述的插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：缓冲件(63)外露面高于花篮(4)的底部挡板内侧面3～10毫米。

3.根据权利要求1所述的插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：缓冲件(63)在缓冲件安装板(62)的外露面上的安装结构为：在缓冲件安装板(62)的外露面上设有安装槽(64)，缓冲件(63)卡装在安装槽(64)中，缓冲件(63)的厚度大于安装槽(64)的深度。

4.根据权利要求1所述的插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：所述缓冲件(63)为块状海绵体。

5.根据权利要求1所述的插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：所述缓冲件(63)为棒状海绵体。

6.根据权利要求1所述的插片机防破碎硅片缓冲装置，其特征是：缓冲件(63)在缓冲件安装板(62)的外露面上的安装结构为：在缓冲件安装板(62)的外露面上设有粘贴有粘接拉毛(65)，粘接拉毛(65)粘固缓冲件63。