[发明专利]硬化性组合物、硬化膜及其形成方法、以及化合物在审
申请号: | 201410432256.X | 申请日: | 2014-08-28 |
公开(公告)号: | CN104516196A | 公开(公告)日: | 2015-04-15 |
发明(设计)人: | 石部彻;远藤刚 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;C07D235/18;C07F7/10 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 化性 组合 硬化 及其 形成 方法 以及 化合物 | ||
1.一种硬化性组合物,其含有:
选自由下述式(1-1)所表示的化合物以及下述式(1-2)所表示的化合物所组成的组群中的至少1种化合物;以及
聚合性化合物,
[化1]
式(1-1)及式(1-2)中,R1~R5及R11~R15分别独立地为氢原子、卤素原子、羧基、羟基、氰基、磺基、甲酰基、巯基、硝基、亚硝基、磷酸酯基、三烷基硅烷基、三烷基硅烷基烷基、或者具有碳数1~20的烷基的羟基;其中,不存在R1~R5全部为氢原子的情况;
R6~R10及R16~R18分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1~20的烷基、碳数3~20的脂环式烃基、碳数6~24的芳香族烃基、碳数4~20的杂环基、碳数1~12的烷氧基、苯硫基、氨基、单烷基氨基、二烷基氨基、亚硝基、巯基、三烷基硅烷基、亚磺酸基、磷酸酯基、酰基、三氟甲基、羟基、氰基、硝基、羧基、或者磺基。
2.根据权利要求1所述的硬化性组合物,其中所述式(1-1)的R1及R5中的至少一个、或者所述式(1-2)的R11及R15中的至少一个为卤素原子、羧基、羟基、氰基、磺基、甲酰基、巯基、硝基、亚硝基、磷酸酯基、三烷基硅烷基、三烷基硅烷基烷基、或者具有碳数1~20的烷基的羟基。
3.根据权利要求1或2所述的硬化性组合物,其中所述聚合性化合物为具有氧杂环丙基、氧杂环丁基或者乙烯性不饱和基的化合物。
4.根据权利要求1或2所述的硬化性组合物,其还含有碱可溶性树脂。
5.根据权利要求1或2所述的硬化性组合物,其具有感放射线性。
6.一种硬化膜,其是由根据权利要求1至5中任一项所述的硬化性组合物而形成。
7.一种硬化膜的形成方法,其包括:在基板上形成涂膜的步骤、对所述涂膜的至少一部分照射放射线的步骤、对经照射放射线的所述涂膜进行显影的步骤、以及对经显影的所述涂膜进行加热的步骤,
由根据权利要求5所述的硬化性组合物来形成所述涂膜。
8.一种化合物,其由选自由下述式(1-3)及式(1-4)所组成的组群中的至少1个所表示:
[化2]
式(1-3)及式(1-4)中,R1′~R5′及R11′~R15′分别独立地为氢原子、卤素原子、羧基、羟基、氰基、磺基、甲酰基、巯基、硝基、亚硝基、磷酸酯基、三烷基硅烷基、三烷基硅烷基烷基、或者具有碳数1~20的烷基的羟基;其中,不存在R1′~R5′及R11′~R15′全部为氢原子的情况;
R6′~R9′及R16′~R18′分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1~20的烷基、碳数3~20的脂环式烃基、碳数6~24的芳香族烃基、碳数4~20的杂环基、碳数1~12的烷氧基、苯硫基、氨基、单烷基氨基、二烷基氨基、亚硝基、巯基、三烷基硅烷基、亚磺酸基、磷酸酯基、酰基、三氟甲基、羟基、氰基、硝基、羧基、或者磺基;其中,在R1′~R5′中的至少一个为卤素原子、羟基、硝基、或者甲氧基的情况下,R6′~R9′不存在全部为氢原子的情况;
R10′分别独立地为氢原子、卤素原子、碳数1~20的烷基、碳数3~20的脂环式烃基、碳数12~24的芳香族烃基、碳数4~20的杂环基、碳数1~12的烷氧基、苯硫基、氨基、单烷基氨基、二烷基氨基、亚硝基、巯基、三烷基硅烷基、亚磺酸基、磷酸酯基、酰基、三氟甲基、羟基、氰基、硝基、羧基、或者磺基。
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