[发明专利]一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架在审
申请号: | 201410435107.9 | 申请日: | 2014-08-30 |
公开(公告)号: | CN105463397A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 闫少健;韩滨;田灿鑫;付德君 | 申请(专利权)人: | 宜昌后皇真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人: | 姜荣华 |
地址: | 443500 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可拆卸 活塞环 pvd 镀膜 | ||
1.一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述镀膜架包括活塞环架和底盘(4),活塞环架活动设在底盘(4)上;
所述活塞环架包括定位杆(1)、支撑杆(2),定位杆(1)与支撑杆(2)之间通过调节杆(3)连接;
所述底盘上沿直径方向上设有长条形通孔(6),支撑杆(2)下端的固定杆(7)穿过通孔(6)。
2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述的支撑杆(2)上端设有挂杆(9)。
3.根据权利要求2所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述挂杆(9)通过水平杆(8)连接在支撑杆(2)上,水平杆(8)上设有滑槽,挂杆(9)一端卡在滑槽内、并能在滑槽中滑动。
4.根据权利要求1所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述的底盘(4)中心有传动槽(5)。
5.根据权利要求1所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述的定位杆(1)的横截面为三角形。
6.根据权利要求1所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述的支撑架(2)为“[”形。
7.根据权利要求1所述的一种可拆卸的活塞环PVD镀膜架,其特征是:所述调节杆(3)是伸缩杆。
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