[发明专利]非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置

权利要求书

1.一种基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：包括抛光工具、抛光工具夹具、工件夹具和抛光池，所述抛光工具位于抛光池内，所述抛光池内放置抛光液，所述工件夹具上的工件位于抛光池内且与所述抛光工具之间存在间隙，所述工件夹具与工件驱动机构连接，所述抛光工具夹具与抛光工具驱动机构连接，所述工件夹具的导电件与电源阳极连接，所述抛光工具夹具的导电件与电源阴极连接，所述抛光液为在具有剪切增稠效应的非牛顿流体中添加磨粒或微粉、电解液成分的抛光液。

2.如权利要求1所述的基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：所述设备还包括循环系统，循环系统与所述抛光池连接，抛光液在经循环系统中抛光池的底部抽出并从抛光池上部输入。

3.如权利要求1或2所述的基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：所述的工件夹具上安装有阳极电极，所述阳极电极通过电刷连接电源阳极,工件被安装到所述的工件夹具后与阳极电极接触紧固。

4.如权利要求3所述的基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：所述的抛光工具夹具上安装有阴极电极，所述阴极电极通过电刷连接电源阴极,所述的抛光工具被安装到所述的抛光工具夹具后与阴极电极接触紧固。

5.如权利要求2所述的基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：所述循环系统包括循环管路、抛光液温控与过滤装置、抛光液补给装置和泵，所述循环管路上安装所述泵和抛光液温控与过滤装置，所述泵上连接所述抛光液补给装置。

6.如权利要求5所述的基于非牛顿流体剪切增稠与电解复合效应的超精密加工装置，其特征在于：所述抛光液过滤装置包括过滤大颗粒磨削的滤网和添加或取出抛光液的进出料口。