[发明专利]铬靶材及其组合的制造方法

权利要求书

1.一种铬靶材的制造方法，其特征在于，包括：

提供铬粉末；

将所述铬粉末进行预压成型处理以形成成型坯料；

在预压处理后，将成型坯料转移到石墨模具内；

对所述成型坯料进行真空热压烧结形成靶材坯料，所述真空热压烧结的过程包括：将装有成型坯料的石墨模具放入真空感应烧结炉中，将真空感应烧结炉的上下压头位置固定，成型坯料被上压头和下压头所限位，成型坯料的体积不变；将石墨模具放入真空感应烧结炉中后，进行第一次升温过程、第二次升温过程以及第二次升温后的保温，在第二次升温过程后的保温中，成型坯料呈固液共存状态；在第二次升温和保温后，以1t/min～2t/min的加压速率对成型坯料进行加压至20MPa/cm²～30MPa/cm²，保温保压1h～3h，所述加压使液态铬游离并填充于固态铬之间的空隙中，减小铬原子之间的间隙，并排出成型坯料中铬颗粒之间空隙的空气；

对所述靶材坯料进行机械加工形成铬靶材。

2.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述将所述铬粉末进行预压成型处理包括：将装有所述铬粉末的模具放入静压机进行冷压，所加压强范围为20MPa～30MPa。

3.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述真空热压烧结之前，对所述真空感应烧结炉抽真空至真空度为10^-2Pa。

4.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述抽真空后，所述真空热压烧结过程包括：

第一次升温至真空感应烧结炉内温度为1000℃～1200℃，第一次升温速率为8℃/min～12℃/min，第一次升温后，保温1h～4h；

第二次升温至真空感应烧结炉内温度为1300℃～1600℃，第二次升温速率为5℃/min～10℃/min，第二次升温后，保温1h～4h；

在第二次升温和保温后，以1t/min～2t/min的加压速率对成型坯料进行加压至20MPa/cm²～30MPa/cm²，保温保压1h～3h。

5.如权利要求1所述的制造方法，其特征在于，在真空热压烧结后，对真空感应烧结炉和靶材坯料进行冷却处理至350℃以下，将所述靶材坯料取出。

6.如权利要求3所述的制造方法，其特征在于，在所述抽真空后且真空热压烧结之前，向所述真空感应烧结炉内通入惰性气体或氮气。

7.如权利要求6所述的制造方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气或氦气。

8.一种铬靶材组合的制造方法，其特征在于，包括：

将由权利要求1～7任一项所述的铬靶材的制造方法制得的铬靶材与背板焊接在一起，形成铬靶材组合。