[发明专利]螺旋涂敷装置

权利要求书

1.一种螺旋涂敷装置，具备：

载物台，具有载置涂敷对象物的载置面；

喷嘴，往载置在上述载物台上的上述涂敷对象物吐出液体；

移动单元，使上述喷嘴相对于上述载物台相对地移动，该移动单元具有使上述喷嘴沿与上述载物台的旋转轴平行的方向移动的第1移动机构部、以及使上述喷嘴沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面移动的第2移动机构部；

气体供给部，提供气体；

洗净液供给部，提供洗净液；以及

喷嘴洗净部，具有气体供给口和洗净液供给口，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。

2.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部具有设置了上述气体供给口及上述洗净液供给口的壳体，上述壳体覆盖上述喷嘴外周中的至少一部分。

3.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体为呈中空形状的容器。

4.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴中的至少一部分被插入到上述壳体的内部。

5.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体具有一端形成上述气体供给口的气体通道。

6.如权利要求5所述的螺旋涂敷装置，上述气体通道遍布上述喷嘴的全周地被设置成环形。

7.如权利要求5所述的螺旋涂敷装置，上述气体通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴的全周地配置有多个。

8.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述壳体具有一端形成上述洗净液供给口的洗净液通道。

9.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道遍布上述喷嘴的全周地被设置成环形。

10.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴的全周地配置有多个。

11.如权利要求8所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道被设置在上述壳体下端部的外周部上。

12.如权利要求11所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道遍布上述喷嘴顶端部的全周地被设置成环形。

13.如权利要求11所述的螺旋涂敷装置，上述洗净液通道隔开规定的间隔而遍布上述喷嘴顶端部的全周地配置有多个。

14.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述气体供给口被设置在比上述洗净液供给口靠上方。

15.如权利要求2所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部具有保持上述壳体的第3移动机构部，上述第3移动机构部使上述壳体沿与上述喷嘴的轴平行的方向相对于上述喷嘴相对地移动。

16.如权利要求15所述的螺旋涂敷装置，上述第3移动机构部被保持在上述第2移动机构部上，能够沿与上述旋转轴交叉的方向沿着上述载置面与上述喷嘴一起移动。

17.如权利要求1所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时从上述洗净液供给口向上述喷嘴吐出从上述洗净液供给部提供来的上述洗净液。

18.如权利要求15所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时利用上述第3移动机构部使上述壳体向上述喷嘴的顶端部移动。

19.如权利要求18所述的螺旋涂敷装置，上述喷嘴洗净部在使上述壳体向上述喷嘴的顶端部下降后，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时利用上述第3移动机构部使上述壳体向与上述喷嘴的顶端部相反一侧移动。

20.如权利要求19所述的螺旋涂敷装置，还具备擦去部，该擦去部具有能够与上述喷嘴的顶端面接触地设置的布部；

上述喷嘴洗净部在使上述壳体向与上述喷嘴的顶端部相反一侧移动后，从上述气体供给口向上述喷嘴喷射从上述气体供给部提供来的上述气体，同时，

上述移动单元使上述喷嘴的顶端面在保持与上述布部接触的状态下在上述布部上移动。