[发明专利]超纯硫酸量产系统

说明书

本发明的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。本发明的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO₂脱析罐连通，吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，SO₂脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，SO₂脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，超纯酸储罐上设有输出口。本发明的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。

技术领域

本发明涉及化工技术领域，尤其涉及一种超纯硫酸量产系统。

背景技术

随着电子工业的发展，超纯硫酸的研制和生产亦快速发展。超纯硫酸主要用于硅晶片的清洗、光刻、印刷电路板的腐蚀和清洗。超纯硫酸一般采用蒸馏工艺生产，此工艺不能实现大规模生产，环境污染大和生产危险度高。另一种方法是：三氧化硫直接吸收工艺，该工艺目前我国尚无先例。为解决上述问题，特研发出一种超纯硫酸量产系统。

发明内容

本发明的目的是提供一种超纯硫酸量产系统。

本发明的技术方案为：一种超纯硫酸量产系统，由吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、双氧水储罐、循环罐、超纯水制备机和超纯酸储罐组成，所述吸收塔的上端分别通过管路与酸冷器和SO₂脱析罐连通，所述吸收塔的底端通过管路与循环罐连通，所述吸收塔上设有去风机进口和三氧化硫进口，所述去风机进口位于吸收塔的顶端，所述三氧化硫进口位于吸收塔的底端，所述酸冷器的底端通过管路与循环罐连通，所述酸冷器与循环罐之间的管路上设有第一循环泵，所述循环罐分别与双氧水储罐和超纯水制备机通过管路连通，所述循环罐与双氧水储罐之间的管路上设有双氧水计量泵，所述SO₂脱析罐的上端通过管路与缓冲罐连通，所述SO₂脱析罐的底端通过管路与超纯酸储罐连通，所述SO₂脱析罐与超纯酸储罐之间的管路上设有第二循环泵，所述SO₂脱析罐的顶端设有脱析罐排气口，所述超纯酸储罐的顶部设有纯酸储罐排气口，所述缓冲罐的一端设有真空泵，所述缓冲罐与真空泵通过管路连通，所述超纯酸储罐上设有输出口。

进一步，所述吸收塔、酸冷器、SO₂脱析罐、缓冲罐、循环罐和超纯酸储罐内层均设有氟聚合物层。

进一步，所述吸收塔采用烛式多级过滤器过滤。

进一步，所述酸冷器为蝶片式酸冷器，所述酸冷器上设有若干条循环水管路。

再进一步，所述脱析罐排气口上设有第一空气过滤器。

再进一步，所述纯酸储罐排气口上设有第二空气过滤器。

本发明的有益效果在于：该超纯硫酸量产系统安全可靠，无环境污染，可实现大规模生产，为企业创造经济效益，可在硫酸行业推广使用。

附图说明

图1为本发明示意图。

其中：1、吸收塔 2、酸冷器 3、SO₂脱析罐

4、第一空气过滤器 5、缓冲罐 6、真空泵

7、双氧水储罐 8、双氧水计量泵 9、循环罐

10、第一循环泵 11、超纯水制备机 12、第二循环泵

13、超纯酸储罐 14、第二空气过滤器 15、去风机进口