[发明专利]气室的制造方法及气室、磁测定装置的制造方法及磁测定装置有效
申请号: | 201410439248.8 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN104188626B | 公开(公告)日: | 2017-04-12 |
发明(设计)人: | 长坂公夫;菊原和通 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | A61B5/00 | 分类号: | A61B5/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 刘影娜 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 方法 测定 装置 | ||
1.一种气室的制造方法,其特征在于,具有:
将封装件和盖罩接合而形成主室的接合工序;
在所述主室的内壁形成涂层的涂敷工序;
向所述主室内填充碱金属气体的填充工序。
2.如权利要求1所述的气室的制造方法,其特征在于,
在所述接合工序中,还形成狭窄孔以及经由所述狭窄孔与所述主室连通的安瓿容纳室。
3.如权利要求2所述的气室的制造方法,其特征在于,
在所述接合工序和所述涂敷工序之间,将在内部封入有碱金属固体的安瓿配置于安瓿容纳室。
4.如权利要求3所述的气室的制造方法,其特征在于,
所述填充工序包括破坏所述安瓿的安瓿破坏工序。
5.如权利要求4所述的气室的制造方法,其特征在于,
所述填充工序在安瓿破坏工序之后包括扩散碱金属气体的扩散工序。
6.一种磁测定装置的制造方法,其特征在于,具有:
将封装件和盖罩接合而形成主室的接合工序;
在所述主室的内壁形成涂层的涂敷工序;
向所述主室内填充碱金属气体的填充工序。
7.一种气室,其特征在于,具有:
主室;
狭窄孔;
经由所述狭窄孔与所述主室连通的安瓿容纳室;
被气密封闭于所述主室内的碱金属气体。
8.如权利要求7所述的气室,其特征在于,
在所述主室的内壁形成有涂层。
9.一种磁测定装置,其特征在于,
具有权利要求7或8所述的气室。
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