[发明专利]制造触摸面板的方法、触摸面板和电子装置有效
申请号: | 201410439888.9 | 申请日: | 2014-09-01 |
公开(公告)号: | CN104423704B | 公开(公告)日: | 2019-12-31 |
发明(设计)人: | 崔钟文 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041;G06F3/044 |
代理公司: | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 王新华 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 触摸 面板 方法 电子 装置 | ||
1.一种触摸面板,包括:
窗口;
传感器层,形成在所述窗口的可见区域上,并包括用于检测输入的传感器图案;
光屏蔽层,形成在所述窗口的非可见区域上位于所述传感器层周围;
配线电极,形成在所述光屏蔽层上并连接到所述传感器图案,使得所述传感器层连接到外部连接器;以及
蚀刻掩模,分别形成在所述配线电极上,所述蚀刻掩模基于从通过沉积形成的绝缘层中的部分所述绝缘层的随形成在所述配线电极的间隙图案上的光阻掩模一起的去除而形成。
2.如权利要求1所述的触摸面板,其中所述传感器图案彼此间隔开,所述配线电极彼此间隔开,并且所述蚀刻掩模彼此间隔开。
3.一种具有触摸面板的电子装置,所述触摸面板包括:
窗口;
传感器层,形成在所述窗口的可见区域上,并包括用于检测输入的传感器图案;
光屏蔽层,形成在所述窗口的非可见区域上位于所述传感器层周围;
配线电极,形成在所述光屏蔽层上并连接到所述传感器图案使得所述传感器层连接到外部连接器;以及
蚀刻掩模,分别形成在所述配线电极上,所述蚀刻掩模基于从通过沉积形成的绝缘层中的部分所述绝缘层的随形成在所述配线电极的间隙图案上的光阻掩模一起的去除而形成。
4.如权利要求3所述的电子装置,其中所述传感器图案彼此间隔开,所述配线电极彼此间隔开,并且所述蚀刻掩模彼此间隔开。
5.一种制造触摸面板的方法,该方法包括:
在窗口的非可见区域上形成光屏蔽层;
在所述光屏蔽层上形成导电层;
在所述导电层上形成光阻掩模以具有与配线电极的间隙图案相对应的图案;
在所述光阻掩模以及导电层在所述光阻掩模之间的部分上形成绝缘层;
去除所述光阻掩模以及所述绝缘层在所述光阻掩模上的部分,并形成与所述绝缘层在所述光阻掩模之间的保留部分相对应的蚀刻掩模;以及
利用所述蚀刻掩模蚀刻所述导电层的一部分,形成与所述导电层的保留部分相对应的配线电极。
6.如权利要求5所述的方法,其中所述配线电极彼此间隔开,并且所述蚀刻掩模彼此间隔开。
7.如权利要求5所述的方法,其中所述蚀刻掩模对在湿蚀刻中使用的蚀刻溶液具有抵抗力。
8.如权利要求5所述的方法,还包括:
在所述窗口的可见区域上形成导电桥接层;
跨过所述导电桥接层形成绝缘层;以及
形成通过所述桥接层连接的第一传感器图案和跨过所述第一传感器图案的第二传感器图案,所述绝缘层插设在所述第一传感器图案与所述第二传感器图案之间。
9.如权利要求5所述的方法,其中所述光屏蔽层通过印刷工艺形成,并且所述光阻掩模通过溶液涂覆形成。
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