[发明专利]工艺腔室的派货方法和系统

说明书

本发明提供一种工艺腔室的派货方法和系统，通过将具体的派货规则细化到机台中的每个工艺腔室，并对并行模式的工艺腔室和串行模式的工艺腔室分别采取有针对性的方式进行派货，并且还通过一派货系统实现派货规则的自动化执行，从而解决了现有技术中当发生堆货情况时，进行人工派货而可能引起的工艺腔室利用率不高、产能下降等问题，在一定程度上提高了机台中每个工艺腔室的利用率。

技术领域

本发明涉及半导体生产领域，尤其涉及一种工艺腔室的派货方法和系统。

背景技术

目前，通常在一个半导体制造厂(Fab)里，带腔室(chamber)的机台数量占整个制造厂机台总量的40％，但是一般现有的实时派货系统(RTD)只对整个机台进行派货管理，并没有细化到腔室的层级。

在制造厂中带腔室的机台往往配置有至少2个腔室，其中，各个腔室内所进行的工艺制程可能相同也可能不同，此外，同一机台中的不同腔室的工作模式还存在着并行和串行两种。并行模式是指同一批次晶圆中的不同晶圆可以同时进入不同的腔室进行加工；串行模式是指晶圆在不同腔室之间按照先后顺序进行加工。

虽然，目前制造厂里带腔室的机台基本都已经配置了实时派货系统，但其仅能支持操作工根据主机台来进行派货，对所有等待在当前机台上跑货的晶圆批次并没有全面分析每个腔室的负载情况。由于操作工对于机台堆货或是不堆货的状态缺少全局的观念，通常是凭借个人经验来指定腔室进行派货，这就容易导致机台产出不能达到最大化。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种工艺腔室的派货方法和系统。

本发明解决技术问题所采用的技术方案为：

一种工艺腔室的派货方法，应用于设置有工艺腔室的机台上，其中，所述方法包括：

步骤S1、获取并根据所述机台上工艺腔室信息和该机台当前需要派货的lot(批次)信息，生成所述机台的工艺腔室负荷率；

步骤S2、获取并根据所述机台上工艺腔室RUN货(跑货)的历史数据，生成该机台的工艺腔室派货时长数据；

步骤S3、根据所述工艺腔室负荷率和所述工艺腔室派货时长数据，基于RTD系统生成所述机台lot的派货规则，并根据所述派货规则对所述机台上的工艺腔室进行派货操作。

所述的派货方法，其中，在步骤S3中，具体还包括：根据所述工艺腔室负荷率和所述工艺腔室派货时长数据，判断所述机台是否处于堆货状态；

若所述机台处于堆货状态时，优先根据所述机台的产能最大化，并兼顾所述工艺腔室的利用率最大化，将当前需要派货的lot进行派货；

若所述机台处于非堆货状态时，直接根据机台工艺腔室的利用率最大化将当前需要派货的lot进行派货。

所述的派货方法，其中，所述机台由多个并行模式的工艺腔室组成，且多个所述工艺腔室均进行相同的工艺制程；

所述步骤S3中具体还包括：

若当所述机台处于堆货状态，则按照优先考虑工艺腔室派货时长最小并兼顾所需工艺腔室数量最大的lot的原则，以将当前需要派货的lot进行派货；

若当所述机台处于非堆货状态，则按照优先考虑派货所需工艺腔室数量最大并兼顾工艺腔室派货时长最小的lot将当前需要派货的lot进行派货。

所述的派货方法，其中，所述机台由多个并行模式的工艺腔室组成，该多个工艺腔室分别进行不同的工艺制程；

所述步骤S3中具体还包括：

无论所述机台是否处于堆货状态，按照优先考虑派货当前空闲的所有工艺腔室的负荷率中最大的并兼顾工艺腔室派货时长最小的lot的原则，以将当前需要派货的lot进行派货。