[发明专利]一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置与测试方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置，其特征在于，包括至少2个静态挂片容器(1)，除氧装置(2)，气液伸缩器(3)和缓蚀剂专用加药器(4)，静态挂片容器(1)的进液管线(7a)通过除氧装置(2)的活动接头(6b)与除氧装置(2)的加液泵(5b)出口管线相连通，静态挂片容器(1)之间通过盖上接管旁通(6a)与进液管线(7a)互相连接,最后一个静态挂片容器(1)的接管旁通(6a)与气液伸缩器(3)的进液口(4c)连通，缓蚀剂专用加药器(4)通过静态挂片容器(1)的接管球阀(5a)安装在静态挂片容器1的腔体(1a)中。 

2.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置，其特征在于，所述的静态挂片容器(1)由腔体(1a)，腔体盖(2a)，挂片接口(3a)，挂片头(4a)，接管球阀(5a)，接管旁通(6a)，进液管线(7a)和底座(8a)组成；腔体(1a)与腔体盖(2a)通过螺纹或法兰连接，在腔体盖(2a)的面上于中心均匀分布(3)个挂片接口(3a)，挂片头(4a)装入挂片接口(3a)中，在腔体盖(2a)的上面于中心处焊接一个接管球阀(5a)，在接管球阀(5a)的2个阀门之间安装一个接管旁通(6a)，在腔体(1a)的下部中间焊接一根进液管线(7a)，腔体(1a)下部焊接一个底座(8a)。 

3.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置，其特征在于，所述的除氧装置(2)由箱体(1b)，氮气驱氧管线(2b)，加液口(3b)，氮气加压管线(4b)，加液泵(5b)和活动接头(6b) 组成；箱体(1b)下部连接氮气驱氧管线(2b)，箱体(1b)上盖上连接加液口(3b)，加液口(3b)的阀门下部有一根与氮气驱氧管线(2b)的2个阀门之间连接的氮气加压管线(4b)，箱体(1b)的下部一侧通过管线连接加液泵(5b)，加液泵(5b)出口管线安装了一个活动接头(6b)，箱体(1b)一侧设置有测试口(7b)。 

4.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置，其特征在于，所述的气液伸缩器(3)由腔体(1c)，伸缩橡胶包2c，压力调节阀门(3c)和进液口(4c)组成；腔体(1c)盖上打孔安装一个伸缩橡胶包(2c)，腔体(1c)盖上中间安装一个压力调节阀门(3c)，腔体(1c)盖上还安装一个进液口(4c)。 

5.根据权利要求1所述的一种缓蚀剂静态缓蚀率测试组合装置，其特征在于，所述的缓蚀剂专用加药器(4)由活接头(1d)，药剂腔(2d)，密封杆(3d)和单向阀接头(4d)组成；药剂腔(2d)上安装活接头(1d)，药剂腔(2d)的下部螺纹连接单向阀接头(4d)，药剂腔(2d)中安装密封杆(3d)。