[发明专利]一种双段式静电驱动微机械开关

权利要求书

1.一种双段式静电驱动微机械开关，其特征在于，所述静电驱动微机械开关由两组驱动梳齿和两组弹性结构组成，第一组驱动梳齿通过第一组弹性结构固定到锚区上，第二组驱动梳齿通过第二组弹性结构与第一组驱动梳齿相连；第一组驱动梳齿的动电极设有限位块，使其行程小于触点间隙。

2.根据权利要求1所述一种双段式静电驱动微机械开关，其特征在于，所述两组驱动梳齿采用不同的齿形设计，两组驱动梳齿对应的梳齿定电极在电学上是隔离的。

3.根据权利要求1所述一种双段式静电驱动微机械开关，其特征在于，所述两组驱动梳齿中，第一组驱动梳齿采用行程较大的梳齿；第二组驱动梳齿采用行程较短而驱动力较大的梳齿。

4.根据权利要求1所述一种双段式静电驱动微机械开关，其特征在于，所述两组驱动梳齿中，第一组驱动梳齿采用行程较大的矩形梳齿；第二组驱动梳齿采用行程较短而驱动力较大的三角形梳齿，或使用平行板电极。