[发明专利]一种测定离焦量的方法及系统有效

专利信息
申请号: 201410443058.3 申请日: 2014-09-02
公开(公告)号: CN104165596B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 孟繁霖;付强;周军;王国峰;邢飞 申请(专利权)人: 南京中科神光科技有限公司
主分类号: G01B11/14 分类号: G01B11/14
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 代理人: 柏尚春
地址: 210038 江苏省南*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 测定 离焦量 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种测定离焦量的方法,用于激光加工中离焦量的测量,其特征在于,包括如下步骤:

1)在工作平台上放置标准件,调整激光λ1垂直出射的高度,使激光λ1的焦平面位于标准件的工作面;

2)打开指示灯,指示灯的指示光λ2与激光λ1共光路;

3)引入第二光源,第二光源位于指示灯一侧,第二光源出射的结构光λ3与水平面之间形成一倾角α;

4)调整倾角α,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在激光λ1的焦平面上重合后,测量倾角α以及焦距的值;

5)将标准件更换为待加工件,当待加工件的工作面未处于激光λ1的焦平面时,调整指示光λ2的出射角度,使指示光λ2的中心与结构光λ3的中心在待加工件工作面上重合,测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;

6)通过公式计算离焦量的值:

|AC|=|AB|·cosα·cosθcos(α+θ)]]>

|BC|=abs(|AC|-|AB|)

其中|BC|为离焦量,|AC|为工作面与输出透镜的距离,|AB|为焦距,α为结构光λ3的倾角,θ为指示光λ2偏离垂直面的角度。

2.根据权利要求1所述的测定离焦量的方法,其特征在于,所述步骤5)在将标准件更换为待加工件后,再次调整激光λ1垂直出射的高度,以调整激光λ1的焦平面与待加工件的工作面之间的距离。

3.一种测定离焦量的系统,包括激光光源、用于发射指示光λ2的指示灯,用于测量焦距的激光位移传感器,其特征在于,还包括:

光路调整装置(1),用于调整激光λ1和指示光λ2的光路,以及测量指示光λ2偏离垂直面的角度θ;

结构光发射器(2),作为引入的第二光源位于指示灯一侧,用于发射结构光λ3,以及测量结构光λ3与水平面之间形成的倾角α。

4.根据权利要求2所述的测定离焦量的系统,其特征在于,所述光路调整装置(1)包括反射镜、转动装置和角度传感器,反射镜通过转动装置进行转动以调整光路,角度传感器用于测量所述角度θ。

5.根据权利要求2所述的测定离焦量的系统,其特征在于,还包括输出透镜(3),位于光路调整装置(1)的底部,用于聚焦光束。

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