[发明专利]滑动导向装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种滑动导向装置，涉及在表面粗糙度测量仪及圆度测量仪等进行微小位移的高精度测量的装置所使用的装置。

背景技术

目前，在表面粗糙度测量仪及圆度测量仪等以高精度测量微小位移的装置中，使测量对象或测量部分移动的移动机构也需要高精度，这些移动机构使用了适于高精度化的滑动导向装置。

在滑动导向装置中，通过利用伴随固体接触的滑动，可以提高移动轴线的位置精度，还能够提高导向面的面刚性及振动衰减性。

在滑动导向装置中，为了提高沿着移动轴线的位置精度，希望在滑动面的摩擦阻力小，滑动顺畅。因此，不是使滑动的一对滑动面互相进行固体润滑，而是采用在使用润滑油的边界区域的润滑，通过采用油润滑滑动导向装置而减小摩擦系数，从而减小摩擦阻力。

另外，通过增厚进行相对移动的滑动面间的油膜，消除相互的固体接触形成流体润滑，可以使摩擦系数接近零。但是，在这种流体润滑中，随着油膜厚度的增加，一对滑动面的间隔增大，得不到移动轴线即导向方向的精度。另外，如果油膜的厚度增大，因负载负荷等，厚度易产生变动，作为导向件的刚性降低。因此，流体润滑不适合于要求更高的刚性及衰减性的导向装置中。

在高精度的滑动导向装置中，除了上述滑动部分的摩擦阻力带来的位置精度的问题以外，还研究了有因滑动部分的摩擦阻力引起的力矩的产生和随之而来的姿势变动或位置误差的产生的问题。

例如，如专利文献1(日本特公昭61－17613号公报)或专利文献2(日本特开昭62－241629号公报)，为了使滑块沿着导向体移动而具有滑动导向装置，该滑动导向装置在导向体的表面和背面设置一对滑动面，在滑块上设置夹着导向体的ー对滑动垫，使这一对滑动面及滑动垫滑动。为了使滑块移动，使用滚珠丝杠等驱动装置。

在这种结构中，公知的是，当滑块的重心与驱动力的中心发生偏离时，在加速时或减速时，滑块上就会产生力矩。

另外，如果一对滑动导向装置的摩擦阻力的合力和驱动力的中心发生偏离，不仅在加减速时，而且在以匀速的移动中也会产生力矩。

当滑块因这种滑块的力矩而产生旋转，由该滑块支承的测头等就会产生不必要的位移，存在即使使用高精度的滑动导向装置，也得不到足够的高精度的问题。

针对这种问题，在专利文献1中，将一对滑动垫中的一方设定为动压滑动方式，即、进行虽然供给润滑油但也可维持固体接触的边界润滑，将另一方设定为利用油膜受压的静压方式，通过按照与动压方式的滑动垫的接触面压平衡的方式控制静压方式的滑动垫的油压，抑制滑块上产生的力矩。而且，通过将动压方式的滑动垫进行滑动的导向面设定为基准导向面而确保导向精度，避免静压方式的滑动垫与对应的导向面之间的间隔变动的影响。

另外，在专利文献2中，将一对滑动垫的一方设定为动压方式，将另一方设定为静压方式，并且将这些滑动垫组集中在滑块的移动方向两端，由此，使各自的静压方式滑动垫的控制带来的滑块姿势变化的补偿动作有效地起作用。

在上述专利文献1及专利文献2的滑动导向装置中，通过将一对滑动垫设定为动压方式或静压方式，可以抑制因滑动垫的摩擦阻力引起而在滑块上产生的力矩。

但是，在专利文献1及专利文献2的滑动导向装置中，在静压方式的滑动垫中，需要根据动压方式的滑动垫的接触面压精密地调节并维持进行供给的油压，也不可避免配管系统的复杂化。加之，在专利文献2中，为了维持姿势，测量与导向面的距离，进行反馈控制，因此，不可避免控制系的复杂化。

这样，在现有的滑动导向装置中，不可避免因摩擦阻力引起的滑块的力矩，精度有可能降低，除此之外，当要想解决这些问题，存在不可避免装置结构的复杂化之类的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种可以避免与摩擦阻力有关的精度降低，并且构造上简单、制造及调节也容易的滑动导向装置。

本发明的滑动导向装置具备：导向体，其具有互相平行的基准导向面及副导向面；滑块，其具有在所述基准导向面上滑动的基准滑动垫及在所述副导向面上滑动的副滑动垫，使由驱动装置驱动的所述滑块沿着所述导向体移动，其特征在于，所述副滑动垫具有：在所述副导向面上滑动的副滑动面；与所述副导向面非接触且承受来自所述副导向面的负载的辅助受压面。