[发明专利]一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具及其使用方法有效
申请号: | 201410443605.8 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN104264121B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 鲁秋梅;汤泓 | 申请(专利权)人: | 汤泓;鲁秋梅 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 大型 光学 真空镀膜 设备 整体 式治具 及其 使用方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种应用于真空镀膜领域的伞形镀膜治具,尤指一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具及其使用方法。
背景技术
随着技术和科技的发展,光学真空镀膜技术已经相对成熟,为促进国内光学真空镀膜设备应用领域的发展,伞形治具盘在本技术领域上已经得到广泛应用,然而目前使用的伞形治具的通常是分体组合式的,由公转支架做支撑,将3至6片扇形伞具进行装配形成一个伞形治具盘后挂载工作,结构如图1示,通常这种分体组合式的伞形治具材质多为厚度较薄(2~3mm)的钢板或铝合金板,长时间使用作业会导致伞具变形,易影响镀膜产品的膜层均匀性,需花费较大成本进行矫正,同时在对伞形治具进行维护时,花费人力成本较高,一般情况下1台直径2.05米镀膜设备需要(2~3人/班)轮流替换做挂伞动作, 且对挂伞片操作人员有身高、体格要求,为了加固伞形治具盘的稳固性通常还要设置加强筋,而加强筋的使用会占据一定的面积,在一定程度上降低了产能;为了解决这些问题,虽然也研发出一些整体式的伞形治具,但是目前整体式伞具只有在小型或微型光学真空镀膜上使用,机台直径一般不超过1米,因机台产能有限,不适于生产大规模量产产品,其伞形治具的挂载形式为挂钩式,造成结构很不稳定,容易造成作业事故。
发明内容
为了弥补现有技术中的的不足,本发明旨在提供一种应用于真空镀膜领域的伞形镀膜治具,尤指一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具,所述的整体式治具主要包括伞形治具盘本体、连接座和锁条,所述的伞形治具盘为一体铸压成型,直径为1950mm~2050mm,厚度为5mm,在伞形治具盘的表面开设有多个通孔,且在伞具中轴处开设有中轴孔,通过中轴孔在伞形治具盘顶部安装有连接块,所述的连接块为两侧圆形侧板之间通过一个筒状轴体连接的类似线缆盘状,两侧圆形侧板的直径相同且比筒状轴体的外径大使得筒状轴体的外表面与两侧圆形侧板之间形成槽状,其中一侧的圆形侧板通过中轴孔安装在伞形顶部使得筒状轴体的通孔与中轴孔贯通,另外一侧圆形侧板与连接座连接;所述的连接座整体呈规则方块状且在中间开设有中孔,中孔的直径与筒状轴体的通孔的直径相同,在方块状的一侧面往里开设有U形卡槽,U形卡槽的口径与圆形侧板的直径相匹配,圆形侧板的边缘能从U形卡槽的口径处往U形卡槽内滑动使得伞形治具盘安装在连接座上并通过锁条锁紧。
所述的连接座的其余三个侧面均设计有带有销孔的连接端头。
所述的连接座U形卡槽的两个开口端设置为夹持端口,夹持端口上开设有螺孔。
安装在连接座上的伞形治具盘的中轴孔与筒状轴体的通孔及连接座上的中孔贯通。
所述的连接座中孔外围开设有螺孔。
所述的锁条为条状开设有与U形卡槽夹持端的螺孔位置相配合的两个螺孔。
所述的锁条长度大于U形卡槽的开口直径,伞形治具盘安装在连接座的U形卡槽内后,将锁条安装在U形卡槽的开口端的夹持端口处,通过螺钉贯穿夹持端口及锁条的螺孔锁紧伞形治具盘使其不再滑出。
一种大型光学真空镀膜设备的整体式治具的使用方法,所述的使用方法主要包括以下步骤:
(1)装配连接座:在镀膜腔室的中心位置,设置能配合安装连接座的基座,将连接座安装在基座上后,基座上的螺孔与连接座上的螺孔位置相对应,通过销钉贯穿连接座带有销孔的连接端头以及螺钉贯穿螺孔将连接座固定在镀膜腔室的基座上;
(2)装配伞形治具盘:使用电动叉车将伞形治具盘抬起举高,当连接块圆形侧板的位置与连接座U形卡槽的口径端位置平齐时,电动叉车将圆形侧板的边缘沿着连接座U形卡槽的口径端往U形卡槽内滑动直至抵住连接座内侧,此时伞形治具盘的中轴孔与筒状轴体的通孔及连接座上的中孔一线贯通,然后将锁条安装在U形卡槽的开口端的夹持端口处,通过螺钉贯穿夹持端口及锁条的螺孔锁紧伞形治具盘使其不再滑出,最后使用螺钉贯穿连接座及连接块上的螺孔进行固定;
(3)装载需镀膜产品:将需要进行镀膜的产品装载在伞形治具盘上,启动镀膜设备,即可对镀膜腔室内装载在伞形治具盘上的产品进行镀膜。
所述的基座与U形卡槽连接处开设有与连接座位置相配合的螺孔。
当需要对整体式治具进行维护时,只需用电动叉车托举住伞形治具盘,然后拆卸基座与连接座上的螺钉和销钉,并拆卸掉锁条,即可通过电动叉车将伞形治具盘取出。
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