[发明专利]流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法及制得的AlN生瓷片

权利要求书

1.一种流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于：将AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂和溶剂搅拌混合均匀，形成浆料，再通过流延的方法制得生瓷片，生瓷片厚度控制在0.300mm以下，具体制作步骤如下：

1）将烧结助剂、分散剂和流延添加溶剂混合进行第一次球磨；

2）将AlN粉体加入第一次球磨体系中，再进行第二次球磨；

3）在上述球磨后混合体系中加入粘结剂和增塑剂，进行第三次球磨；

4）待第三次球磨结束后，将浆料转移到真空脱泡系中统进行脱泡；

5）将脱泡后浆料进行流延，得到流延膜；

6）将流延膜在干燥制度下进行干燥，得到流延生瓷片；

7）通过分切检验，得到所需尺寸的生瓷片。

2.根据权利要求1所述的流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

1）将称量好的烧结助剂和分散剂加入到混合均匀的多元溶剂中进行第一次球磨，球磨的转速为30~60r/min，时间为20~150min；

2）将称量好的AlN粉体加入到上述1）球磨后的混合液中，进行第二次球磨；球磨的转速为50~80r/min，时间为60~300min；

3）在上述2）球磨后粉体混合液中分别加入粘结剂和增塑剂，搅拌混合进行第三次球磨，球磨的转速为50~80r/min，时间为600~1200min；

4）测试3）步骤球磨后浆料的粘度，球磨后粘度控制在1000~ 6000mPa.s，然后将浆料转移到真空脱泡系统中进行脱泡，真空度控制-25PSI，搅拌速率为30~120r/min,脱泡时间30~400min，脱泡后粘度控制在2000~10000mPa.s；

5）将脱泡后浆料加压到流延槽中，通过调整流延刮刀间隙比控制流延生瓷片厚度，从而得到不同厚度流延膜；

6）将流延膜在不同温区中进行干燥，通过上加热、下加热和风热的方式控制升温干燥速率，温区设置干燥制度为：第一温区温度为25~45℃，第二温区温度为40~60℃，第三温区温度为55~70℃，第四温区温度为60~100℃，第五温区温度为45~70℃，第六温区温度为25~50℃。

3.根据权利要求1或2任一项所述的流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于：

所述AlN粉体要求平均粒度为0.8~2.5μm之间，比表面积为2~4.5㎡/g，氧含量小于0.9%；

所述的烧结助剂为稀土金属氧化物、碱土金属氧化物Y2O3、CaO、MgO中的一种或两种；

所述分散剂为油酸、三油酸甘油酯、鱼油、丙烯酸树脂等一种或两种；

所述粘结剂为聚碳酸亚丙脂树脂；

所述增塑剂为邻苯二甲酸二甲酯（DMP）和邻苯二甲酸丁苄酯（BBP）一种或两种； 

所述溶剂为异丙醇、丙酮、丁酮、乙醇中的多元混合体系。

4.根据权利要求1所述的流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于：

所述的AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂、溶剂的质量比可根据流延厚度进行配比。

5.根据权利要求1所述的流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法，其特征在于：

所述的AlN粉体、烧结助剂、分散剂、粘结剂、增塑剂、溶剂的质量比为1：0.03~0.07：0.01~0.03：0.05~0.30：0.03~0.05：0.70~0.90。

6.一种权利要求1所述的流延成型法制备用于多层布线基板的AlN生瓷片的方法制备的用于光电通讯行业的AlN生瓷片。