[发明专利]硅控整流器ESD保护结构在审
申请号: | 201410446607.2 | 申请日: | 2014-09-03 |
公开(公告)号: | CN104332467A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 邓樟鹏 | 申请(专利权)人: | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
地址: | 201203 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整流器 esd 保护 结构 | ||
技术领域
本发明涉及集成电路领域,特别是涉及一种硅控整流器ESD保护结构。
背景技术
静电是一种客观的自然现象,产生的方式多种,如接触、摩擦、电器间感应等。静电的特点是长时间积聚、高电压、低电量、小电流和作用时间短的特点。静电在至少两个领域造成严重危害。摩擦起电和人体静电是电子工业中的两大危害,常常造成电子电器产品运行不稳定,甚至损坏。ESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等的学科,国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESD。
硅控整流器(SCR)具有触发电压可调ESD保护能力强和面积小的优点。在实际应用中,硅控整流器比金属-氧化物-半导体场效应管有着更强的静电泄放能力,在同等条件下,硅控整流器的静电泄放能力是MOSFET的5~7倍。不过硅控整流器开启后位置电压(骤回电压)比较低,被意外出发后闩锁的风险较大,因此不能单独被选作ESD保护器件,特别是不能作为电源和地之间的ESD保护器件。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种能调节静电保护触发电压,能提高硅控整流器开启后过低的骤回电压,能避免瞬态闩锁效应的发生的硅控整流器ESD保护结构。
为解决上述技术问题,本发明的硅控整流器,包括:
一硅控整流器其接地端通过并联的MOS管和第一电阻接地,所述MOS管栅极通过第二电阻接地;
所述硅控整流器包括:位于P型阱顶端被P型阱隔离开的第一P+扩散区和第一N+扩散区,位于N型阱顶端被N型阱隔离开的第二P+扩散区和第二N+扩散区;第一P+扩散区和第一N+扩散区相连形成所述所述硅控整流器的接地端,第二P+扩散区和第二N+扩散区相连形成所述所述硅控整流器的静电端。
其中,所述MOS管为NMOS管,该NMOS管源极连接地,漏极连接所述硅控整流器的接地端,栅极通过第二电阻接地。
其中,所述MOS管为PMOS管,该PMOS管漏极连接地,源极连接所述硅控整流器的接地端,栅极通过第二电阻接所述硅控整流器的接地端。
其中,所述硅控整流器其接地端通过MOS管串接地,所述MOS管串与第一电阻形成并联,所述MOS管串各MOS管的栅极相连并通过第二电阻接地。
其中,所述MOS管串由至少两个源漏串联的NMOS管组成;
所述NMOS管串的第一个NMOS管的漏极连接所述硅控整流器的接地端,所述NMOS管串的第一个NMOS管的源极连接其他NMOS管的漏极;
所述NMOS管串的最后一个NMOS管的漏极连接其他NMOS管的源极,所述NMOS管串的最后一个NMOS管的源极连接地。
其中,所述MOS管串由至少两个源漏串联的PMOS管组成;
所述PMOS管串的第一个PMOS管的源极连接所述硅控整流器的接地端,所述PMOS管串的第一个PMOS管的漏极连接其他PMOS管的源极;
所述PMOS管串的最后一个PMOS管的源极连接其他PMOS管的漏极,所述PMOS管串的最后一个PMOS管的漏极连接地。
当本发明硅控整流器静电端有ESD静电时,硅控整流器接地端因为通过第一电阻和地相连处于0电位。随着静电端电压升高,会使得硅控整流器开启进入导通态,静电电流通过硅控整流器和第一电阻流向地端,此时在第一电阻上的电压降会抬升硅控整流器接地端电位,使MOS管的寄生BJT(三极管)开启,至此整个结构开始泄放ESD电流。本发明的触发电压基本上由硅控整流器决定,而开启后的维持电压等于硅控整流器本身维持电压和其所串联的MOS结构的维持电压之和。本发明的硅控整流器ESD保护结构能作为电源和地之间的ESD保护器件。
附图说明
下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1是本发明硅控整流器的结构示意图。
图2图1硅控整流器的等效电路图。
图3是本发明ESD保护结构第一实施例示意图。
图4是本发明ESD保护结构第二实施例示意图。
图5是本发明ESD保护结构第三实施例示意图。
图6是本发明ESD保护结构第四实施例示意图。
附图标记说明
1 是P型阱
2 是N型阱
3 是第一P+扩散区
4 是第一N+扩散区
5 是第二P+扩散区
6 是第二N+扩散区
N1 是NMOS管
Rpw、Rnw 是等效电阻
Vbp、Vbn 是等效电压
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的