[发明专利]一种高压静电电压测量装置

权利要求书

1.一种高压静电电压测量装置，其特征在于，包括感应极板、分压电容和测量电路；其中感应极板的输出分成两个支路，其中一支路通过分压电容接地，另一支路与测量电路相连；

所述感应极板用于感应被测对象的静电电压；

所述分压电容用于对感应极板输出的静电电压进行分压；

所述测量电路包括低偏置输入放大器、同相比例放大器、低通滤波器、测量显示模块、等电势屏蔽环、跟随放大器和开关，所述等电势屏蔽环将低偏置输入放大器上的输入管脚包围；其中感应极板的输出支路通过开关依次与低偏置输入放大器、同相比例放大器、低通滤波器、测量显示模块相连；低偏置输入放大器的反向输入端与跟随放大器的输入端相连，跟随放大器的输出端与等电势屏蔽环相连。

2.根据权利要求1所述高压静电电压测量装置，其特征在于，所述分压电容为聚苯乙烯电容。

3.根据权利要求1所述高压静电电压测量装置，其特征在于，所述低偏置输入放大器的偏置电流小于60fA。

4.根据权利要求1所述高压静电电压测量装置，其特征在于，所述感应极板包括高压样品、感应电极、接地铝环及铝壳；其中，高压样品位于接地铝环的上方，感应电极位于接地铝环的下方，所述铝壳将高压样品、感应电极和接地铝环压紧于铝壳内；铝壳上端留有开口，接地铝环与铝壳内壁接触，且接触电阻小于0.5欧姆；

所述高压样品包括样品压环、样品托环和薄膜样品材料，其中所述薄膜样品材料与被测对象的材料相同；薄膜样品材料的下表面通过环氧胶固连在与其直径相同的样品托环上，样品压环压紧薄膜样品材料，并使薄膜样品材料的上表面通过环氧胶固连于样品压环的凹槽内；

所述感应电极包括感应电极压环、感应电极托环和极板；极板由感应电极压环压紧于感应电极托环上。

5.根据权利要求4所述高压静电电压测量装置，其特征在于，所述样品压环和样品托环的材料为聚酰亚胺，所述感应电极压环和感应电极托环为聚酰亚胺。