[发明专利]光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体及光学壳体的制造方法。

背景技术

以往，已知有将干涉滤波器、镜器件(ミラーデバイス)等光学元件收纳在被气密密封的框体内的光学装置(例如，参照专利文献1)。

该专利文献1的光学装置具备容器状的基体、封闭基体的开口且具有光透过用的开口部的金属框体、以及封闭金属框体的开口部的玻璃部件。另外，在金属框体的与玻璃部件相对的区域上设置有低熔点玻璃的接合材料，利用该接合材料接合金属框体和玻璃部件。另外，在金属框体的不与玻璃部件相对的区域上设置有用于防止金属框体生锈的利用镀覆法形成的金属。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-93675号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，为了通过低熔点玻璃接合玻璃部件和金属框体且确保良好的接合强度和气密性，优选沿玻璃部件的外周形成低熔点玻璃的填角(fillet；嵌条)。

针对此，在上述专利文献1中，因为只在金属框体表面的与玻璃部件相对的区域上设置接合材料，所以有接合强度和气密性不充分的问题。

另外，在上述专利文献1中，如果形成填角，因为在金属框体的不与玻璃部件相对的区域上形成有用镀覆法(メッキ法)形成的金属，所以会在该金属上形成低熔点玻璃的填角。此时，由于金属框体和利用镀覆法形成的金属的热膨胀系数的差，会在利用镀覆法形成的金属上产生裂缝，由于该金属裂缝的原因，也会在低熔点玻璃上产生裂缝。此时，还是会有玻璃部件和金属框体之间的接合强度、气密性降低的问题。

本发明的目的在于，提供接合强度强、气密性高的光学装置、光学模块、电子设备、光学壳体以及光学壳体的制造方法。

用于解决技术问题的方案

本发明的光学装置的特征在于，包括：光学元件；第一部件，被配置为覆盖所述光学元件，且具有开口部；第二部件，被配置为隔着所述光学元件与所述第一部件相对，且与所述第一部件一起容纳所述光学元件；第三部件，覆盖所述开口部，且使光透过；以及金属，覆盖所述第一部件，从所述第三部件观察所述开口部一侧时，在所述第一部件的所述第三部件一侧，所述金属不与所述第三部件重叠。

上述方式的光学装置其特征在于，具备：光学元件，具有光接收面或者光出射面；第一部件，具有开口部；第二部件，与所述第一部件一起形成能容纳所述光学元件的容纳空间；透光部件，覆盖所述开口部且与所述第一部件接合；以及金属，设置于所述第一部件，在从相对于所述开口部的开口面的法线方向观察的俯视观察中，所述金属设置于从所述透光部件的外周缘向远离所述开口部的一侧隔开规定尺寸的位置。

在本发明中，透光部件接合于第一部件，在第一部件中，以向外侧与透光部件的外周缘隔开规定尺寸的方式设置有金属。该金属可用镀覆法形成。即，在从向外侧与透光部件的外周缘隔开规定尺寸的位置至开口部的开口边缘的区域(以下，有时称为第一区域)中未设置有金属，在第一区域以外的区域(以下，有时称为第二区域)中设置有金属。需要说明的是，金属不设置于第一区域内即可，例如，既可以形成于整个第二区域，也可以设于第二区域的局部。

根据上述构成，由于用于接合透光部件与第一部件的接合部件不与金属接触，因此，例如即使金属和接合部件的紧贴性差、或者热膨胀系数不同时，也能抑制金属的裂缝和劣化。如此一来，能够利用金属维持第一部件的耐蚀性。另外，因为不会发生由金属的裂缝引起的接合部件的裂缝，所以能够以强接合强度和高气密性接合第一部件与透光部件。

而且，由于至与透光部件的外周缘隔开规定尺寸的线的位置为止的区域成为第一区域，所以能够在该第一区域中沿透光部件的外周缘形成接合部件的填角。通过形成上述的填角，能够进一步提升第一部件与透光部件的接合强度和气密性。

在本发明的光学装置中，优选利用低熔点玻璃将所述透光部件接合于所述第一部件。

在本发明中，利用低熔点玻璃将透光部件接合到第一部件。通过使用低熔点玻璃进行接合，能够提升透光部件和第一部件的气密性。

在本发明的光学装置中，优选具备树脂部件，所述树脂部件覆盖所述低熔点玻璃的不与所述透光部件和所述第一部件接触的面。

在本发明中，除了利用低熔点玻璃进行接合之外，还进一步用树脂部件覆盖该低熔点玻璃的不与透光部件、第一部件接触的表面。如此一来，能够进一步提升低熔点玻璃的接合强度和气密性。