[发明专利]内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器

权利要求书

1.一种内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器，包括与大气参考压端连通的力敏元件壳体，分别与力敏元件壳体相互封接在一起的外连电路板连接座和力敏元件转接座，以及连接力敏元件的穿过引线孔，并引出外连电路板连接座端的传感引线，其特征在于：所述力敏元件壳体的上部与外连电路板连接座之间连通大气参考压端的空腔中，内置带有薄膜型隔离膜的大气压自动补偿平衡腔室；力敏元件的传感引线位于力敏元件壳体的引线孔的引出端采用封口密封胶进行胶接密封，同时采用封口密封胶密封传感引线的引出外连电路板连接座端，并使大气压自动补偿平衡腔室被薄膜型隔离膜分隔的腔体下部，与力敏元件壳体的下部装有力敏元件的导压腔体相互连通，形成封闭的导压腔，大气压自动补偿平衡腔室被薄膜型隔离膜分隔的腔体上部，连通相互封接在一起的外连电路板连接座和力敏元件壳体的与大气参考压端连通的腔体。

2. 根据权利要求1所述的内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器，其特征在于：内置在力敏元件壳体上部的所述大气压自动补偿平衡腔室，包括薄膜型隔离膜和与带有大气压引入孔的大气参考压端连通的压帽，由夹膜密封垫片夹持固定的薄膜型隔离膜利用润滑密封垫和压帽压封在力敏元件壳体上部的腔体内，该腔体被薄膜型隔离膜分隔相互独立的上、下两部。

3.根据权利要求1所述的内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器，其特征在于：所述力敏元件采用硅蓝宝石力敏元件，带平衡腔室的硅蓝宝石力敏元件壳体上部与外连电路板连接座之间连通大气参考压端的空腔中，内置带有薄膜型隔离膜的大气压自动补偿平衡腔室；硅蓝宝石力敏元件利用作为力敏元件座的硅蓝宝石力敏元件转接座密封在带平衡腔室的硅蓝宝石力敏元件壳体的下部腔体内。

4.根据权利要求1所述的内置平衡腔室的薄膜隔离型表压传感器，其特征在于：所述力敏元件采用扩散硅力敏元件，带平衡腔室的扩散硅力敏元件壳体上部与外连电路板连接座之间连通大气参考压端的空腔中，内置带有薄膜型隔离膜的大气压自动补偿平衡腔室；扩散硅力敏元件利用感压金属膜片、导压隔离介质封装在带平衡腔室的扩散硅力敏元件壳体的下部腔体内，并在底部以作为膜片保护罩的扩散硅力敏元件转接座进行密封。