[发明专利]光调制器以及曝光头

权利要求书

1.一种光调制器，用于调制使来自排列多个点发光光源而成的光源的出射光由透镜形成光束并作为平行光向行进方向行进的光，其特征在于，

具有：

第一光电晶体基板，其具有第一周期极化反转结构，所述光从所述第一周期极化反转结构通过，所述第一周期极化反转结构是通过以第一周期沿与所述行进方向垂直的第一排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第一极化对而成的，

第二光电晶体基板，其具有第二周期极化反转结构，通过了所述第一光电晶体基板的所述光从所述第二周期极化反转结构通过，所述第二周期极化反转结构是通过以第二周期沿与所述行进方向垂直的第二排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第二极化对而成的，

第三光电晶体基板，其具有第三周期极化反转结构，通过了所述第二光电晶体基板的所述光从所述第三周期极化反转结构通过，所述第三周期极化反转结构是通过以第三周期沿与所述行进方向垂直的第三排列方向排列因受到电场的作用而产生极化的方向彼此相反的第三极化对而成的，

驱动部，其利用施加于所述第一光电晶体基板、所述第二光电晶体基板及所述第三光电晶体基板的电压，来在所述第一周期极化反转结构内、所述第二周期极化反转结构内及第三周期极化反转结构内形成衍射光栅，由此对所述光进行调制；

在所述第一周期极化反转结构形成的衍射光栅对来自所述光源的出射光进行衍射，在所述第二周期极化反转结构形成的衍射光栅对通过了所述第一周期极化反转结构的光进行衍射，在所述第三周期极化反转结构形成的衍射光栅对通过了所述第二周期极化反转结构的光进行衍射，

所述第一周期和所述第三周期相同，所述第二周期是所述第一周期的两倍。

2.如权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

所述驱动部，利用在所述第一周期极化反转结构内形成的衍射光栅来产生拉曼-奈斯衍射，并且利用在所述第二周期极化反转结构内形成的衍射光栅来产生拉曼-奈斯衍射。

3.如权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

所述第一光电晶体基板、所述第二光电晶体基板以及所述第三光电晶体基板都具有两个主表面平行的平板形状；

第一电极在所述第一光电晶体基板的一侧主表面、所述第二光电晶体基板的一侧主表面及所述第三光电晶体基板的一侧主表面上延伸，并且第二电极在所述第一光电晶体基板的另一侧主表面、所述第二光电晶体基板的另一侧主表面及所述第三光电晶体基板的另一侧主表面上延伸，

所述驱动部通过在所述第一电极和所述第二电极之间产生电位差来形成所述衍射光栅。

4.如权利要求1所述的光调制器，其特征在于，

所述第一光电晶体基板、所述第二光电晶体基板及所述第三光电晶体基板都具有两个主表面平行的平板形状；

多个第一电极，以在与所述行进方向垂直的方向上彼此隔开间隔且与所述行进方向平行的方式在所述第一光电晶体基板的一侧主表面、所述第二光电晶体基板的一侧主表面、及所述第三光电晶体基板的一侧主表面上延伸，并且，第二电极在所述第一光电晶体基板的另一侧主表面、所述第二光电晶体基板的另一侧主表面及所述第三光电晶体基板的另一侧主表面上延伸；

所述驱动部通过在所述每个第一电极和所述第二电极之间产生电位差，来在所述各第一电极和所述第二电极之间形成所述衍射光栅。

5.如权利要求3或4所述的光调制器，其特征在于，

在与所述行进方向垂直的方向上，所述第一电极的宽度大于所述第一极化对的宽度、大于所述第二极化对的宽度且大于所述第三极化对的宽度。

6.如权利要求3或4所述的光调制器，其特征在于，

具有保持部，该保持部与所述第一光电晶体基板的另一侧主表面、所述第二光电晶体基板的另一侧主表面及所述第三光电晶体基板的另一侧主表面以中间夹着所述第二电极的方式接合，由此保持所述第一光电晶体基板、所述第二光电晶体基板及所述第三光电晶体基板。