[发明专利]毫米波段用半导体封装件以及毫米波段用半导体装置在审
申请号: | 201410453175.8 | 申请日: | 2014-09-05 |
公开(公告)号: | CN104835807A | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 高木一考 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L23/66 | 分类号: | H01L23/66;H01P5/107;H01P3/00 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 姜虎;陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 毫米 波段 半导体 封装 以及 装置 | ||
1.一种毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
具备:
金属制的基体,具有第一贯通孔以及第二贯通孔;
电路基板,配置在该基体上,正面设置有输入用信号线路以及输出用信号线路;以及
金属制的盖体,配置在该电路基板上,具有第一非贯通孔以及第二非贯通孔;
其中,所述盖体以所述第一非贯通孔配置在所述基体的所述第一贯通孔的正上方、且所述第二非贯通孔配置在所述基体的所述第二贯通孔的正上方的方式配置在所述电路基板上;
所述第一非贯通孔以及所述第一贯通孔构成第一导波管,而所述第二非贯通孔以及所述第二贯通孔构成第二导波管。
2.根据权利要求1所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述基体的所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔分别是从正面朝侧面贯通所述基体的L字状的贯通孔。
3.根据权利要求2所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述基体的所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔分别是E面弯型的贯通孔。
4.根据权利要求1所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述输入用信号线路的一侧端部插入到所述第一导波管内,插入长度为λ/4,
并且,所述输出用信号线路的一侧端部插入到所述第二导波管内,插入长度为λ/4。
5.根据权利要求1所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述第一非贯通孔的底面配置在自所述输入用信号线路朝上方相隔λ/4长度的位置,
并且,所述第二非贯通孔的底面配置在自所述输出用信号线路朝上方相隔λ/4长度的位置。
6.根据权利要求1所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述电路基板的正面上进一步设置有用于向半导体芯片供给直流偏压的偏压供给线路;
所述盖体的背面中与所述偏压供给线路相对置的区域被挖除,以使该区域比其他区域薄。
7.根据权利要求6所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述电路基板的正面上进一步设置有第一接地图案;
所述第一接地图案设置成与所述输入用信号线路、所述输出用信号线路以及所述偏压供给线路绝缘。
8.根据权利要求7所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述第一接地图案未设置在所述第一导波管内以及所述第二导波管内。
9.根据权利要求8所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述电路基板的背面上设置有与所述第一接地图案电连接的第二接地图案。
10.根据权利要求9所述的毫米波段用半导体封装件,其特征在于,
所述第二接地图案设置在所述电路基板的背面上的除了配置于所述第一导波管内以及所述第二导波管内的区域以外的整个面上。
11.一种毫米波段用半导体装置,其特征在于,
具备:
金属制的基体,具有第一贯通孔以及第二贯通孔;
电路基板,配置在该基体上,在该电路基板的一部分上具有贯通孔,正面设置有输入用信号线路以及输出用信号线路;
金属制的盖体,配置在该电路基板上,具有第一非贯通孔以及第二非贯通孔;以及
半导体芯片,以配置在所述电路基板的贯通孔内的方式载置于所述基体的正面上,并与所述输入用信号线路以及所述输出用信号线路电连接;
其中,所述盖体以所述第一非贯通孔配置在所述基体的所述第一贯通孔的正上方、且所述第二非贯通孔配置在所述基体的所述第二贯通孔的正上方的方式配置在所述电路基板上;
所述第一非贯通孔以及所述第一贯通孔构成第一导波管,而所述第二非贯通孔以及所述第二贯通孔构成第二导波管。
12.根据权利要求11所述的毫米波段用半导体装置,其特征在于,
所述基体的所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔分别是从正面朝侧面贯通所述基体的L字状的贯通孔。
13.根据权利要求12所述的毫米波段用半导体装置,其特征在于,
所述基体的所述第一贯通孔以及所述第二贯通孔分别是E面弯型的贯通孔。
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