[发明专利]平面运动测量装置及其方法

权利要求书

1.一种平面运动测量装置，其特征在于，包括：平面运动定子、平面运动动子、转接件、以及位于所述平面运动定子与所述平面运动动子之间的至少三个测量模块，所述三个测量模块 中二个测第一方向，另一个测第二方向，所述第一方向和所述第二方向垂直；其中，

每个所述测量模块还包括十字机械导轨，与所述平面运动定子以及所述平面运动动子相连接，用于支持所述平面运动动子的运动；所述十字机械导轨包括X向导轨与Y向导轨，实现所述平面运动动子在X轴向与Y轴向的运动；所述Y向导轨上设置有鼓形轴承，所述鼓形轴承用于连接所述平面运动动子和所述Y向导轨；所述转接件固定连接在所述运动动子上，所述鼓形轴承的一端与所述转接件连接，所述转接件设有与所述鼓形轴承的一端配合的孔，以使所述鼓形轴承在所述孔中沿Z轴的方向运动。

2.如权利要求1所述的平面运动测量装置，其特征在于，每个所述测量模块均包括光栅尺以及读头，所述光栅尺相对地安装于所述平面运动定子或动子上，所述读头相对地安装于所述平面运动动子或定子上。

3.如权利要求1所述的平面运动测量装置，其特征在于，每个所述测量模块分别测量所述平面运动动子运动前后X轴向偏移量或Y轴向偏移量的数据，所述三个测量模块所获得的所述数据，用以计算所述平面运动动子相对于所述平面运动定子的水平运动量以及Rz向偏移量。

4.如权利要求1所述的平面运动测量装置，其特征在于，所述三个测量模块中有2个所述测量模块用于测量X/Y轴向数据，另一个所述测量模块用于测量Y/X轴向数据。

5.如权利要求1所述的平面运动测量装置，其特征在于，所述Y向导轨为一滑道，所述鼓形轴承被贴合于所述滑道的一侧。

6.如权利要求1所述的平面运动测量装置，其特征在于，还包括电机，所述平面运动动子在电机的驱动下，相对于所述平面运动定子运动。

7.一种平面运动测量方法，采用权利要求1～6中任意一项所述的平面运动测量装置，其特征在于，包括：测量所述平面运动定子的位置坐标；所述平面运动动子相对于所述平面运动定子运动之后，再测量所述平面运动动子的位置坐标；再根据测得数据计算出所述平面运动动子相对于所述平面运动定子的水平运动量以及Rz向偏移量。

8.如权利要求7所述的平面运动测量方法，其特征在于，所述位置坐标包含X轴向和Y轴向的至少三个数据，分别为X1、X2、Y或者X、Y1、Y2。