[发明专利]物理量传感器、振动装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：

基板；

固定部以及布线，其被设置在所述基板上；

接触部，其对所述固定部以及所述布线进行电连接；

可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，

在俯视观察时，所述接触部被设置在经由第一区域外的第二区域的所述固定部而被连接设置的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的位移方向上假想延伸而成的区域，

所述经由第一区域外的第二区域的所述固定部而被连接设置的所述固定部包括如下的固定部，即，从被设置在所述第一区域内并包括所述固定支点区域在内的所述固定部起在沿着主面的平面上向与所述位移方向正交且互为相反方向的第一方向侧以及第二方向侧延伸，并且进一步分别向所述位移方向的与所述可动电极侧相反的一侧延伸，并且所述第一方向侧的所述固定部进一步向所述第二方向侧延伸、且所述第二方向侧的所述固定部向所述第一方向侧延伸，从而返回到所述第一区域内的、在所述位移方向上与所述固定支点区域分离的所述第一区域并合在一起的所述固定部。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述固定部与所述布线以在俯视观察时所述固定部覆盖所述布线的一部分的方式通过所述接触部而电连接。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述可动电极包括连结部，

所述固定支点区域为，被所述连结部与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的区域。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

所述基板为玻璃基板，所述固定部以及所述可动电极由被层叠在所述玻璃基板上的硅基板构成。

5.一种振动装置，其特征在于，具备：

基板；

固定部以及布线，其被设置在所述基板上；

接触部，其对所述固定部和所述布线进行电连接；

可动电极，其经由所述固定部而与所述布线电连接，

在俯视观察时，所述接触部被设置在经由第一区域外的第二区域的所述固定部而被连接设置的所述固定部上，所述第一区域为，将被所述可动电极与所述固定部相连接的区域的边缘部所夹持的固定支点区域于所述可动电极的振动面方向上假想延伸而成的区域，

所述经由第一区域外的第二区域的所述固定部而被连接设置的所述固定部包括如下的固定部，即，从被设置在所述第一区域内并包括所述固定支点区域在内的所述固定部起在沿着主面的平面上向与位移方向正交且互为相反方向的第一方向侧以及第二方向侧延伸，并且进一步分别向所述位移方向的与所述可动电极侧相反的一侧延伸，并且所述第一方向侧的所述固定部进一步向所述第二方向侧延伸、且所述第二方向侧的所述固定部向所述第一方向侧延伸，从而返回到所述第一区域内的、在所述位移方向上与所述固定支点区域分离的所述第一区域并合在一起的所述固定部。

6.如权利要求5所述的振动装置，其特征在于，

所述固定部与所述布线以在俯视观察时所述固定部覆盖所述布线的一部分的方式通过所述接触部而电连接。

7.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求1所述的物理量传感器。

8.一种移动体，其特征在于，具备权利要求1所述的物理量传感器。

9.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求5所述的振动装置。

10.一种移动体，其特征在于，具备权利要求5所述的振动装置。