[发明专利]一种具有高可靠性电极的红外发光二极管在审
| 申请号： | 201410457099.8 | 申请日： | 2014-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN104201265A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 林志伟;陈凯轩;张永;杨凯;蔡建九;白继锋;卓祥景;姜伟;刘碧霞 | 申请（专利权）人： | 厦门乾照光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/30 | 分类号： | H01L33/30;H01L33/40;H01L33/38 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 廖吉保;唐绍烈 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 可靠性 电极 红外 发光二极管 | ||
1.一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：在外延发光结构的一侧上设置粗化层，在粗化层上设置腐蚀截止层，在腐蚀截止层上设置欧姆接触层，欧姆接触层表面形成扩展电极，微粗化层设置在欧姆接触层上，焊盘电极设置在微粗化层上，与扩展电极连接导通；在外延发光结构的另一侧设置金属反射镜，金属反射镜上设置基板，基板上设置背电极。
2.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：外延发光结构包括第一型导电层、有源层、第二型导电层；有源层一侧设置第一型导电层，第一型导电层与粗化层相接触；另一侧设置第二型导电层，第二型导电层与金属反射镜相接触。
3.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：腐蚀截止层的材料包括AlGaInP。
4.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：腐蚀截止层的厚度为50-100nm。
5.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：粗化层的材料包括AlGaAs。
6.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：微粗化层经粗化后的表面粗糙度小于100nm。
7.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：微粗化层材料包括(AlxGa1-x)0.5In0.5P，且0.6≥x≥0.4。
8.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：微粗化层的厚度为150-200nm。
9.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：欧姆接触层的材料包括AlxGa1-xAs，0.1≥x≥0。
10.如权利要求1所述的一种具有高可靠性电极的红外发光二极管，其特征在于：欧姆接触层的厚度为50-200nm。
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