[发明专利]具有三个敏感轴的转速传感器以及制造转速传感器的方法

说明书

一种用于探测转速传感器的转动运动的转速传感器，其中，所述转速传感器具有第一传感器结构、第二传感器结构以及驱动结构，所述第一传感器结构具有第一振动质量，所述第二传感器结构具有第二振动质量，所述驱动结构与所述第一振动质量和所述第二振动质量耦合，其中，所述第一传感器结构配置用于探测围绕第一旋转轴的第一转速，并且所述第二传感器结构配置用于探测围绕第二旋转轴的第二转速，其中，能够驱动所述第一振动质量进行沿着第一振动方向的第一驱动振动，其中，能够驱动所述第二振动质量进行沿着不同于所述第一振动方向的第二振动方向的第二驱动振动，其中，所述第一旋转轴垂直于所述第一振动方向地布置，并且所述第二旋转轴垂直于所述第二振动方向地布置，其特征在于，所述第二传感器结构配置用于探测围绕不同于所述第二旋转轴的并且垂直于所述第二振动方向的第三旋转轴的第三转速。

技术领域

本发明涉及一种转速传感器。

背景技术

众所周知具有多个敏感轴的这种转速传感器。例如在具有三个敏感轴的常规转速传感器中，分别具有一个敏感轴的三个单独的传感器结构分别布置在一个共同的衬底上。由于传感器结构沿着垂直于衬底主延伸平面的投影方向的并排布置，这种转速传感器具有相对大的构造型式，因此形成提高的面积需求。转速传感器的构造空间的减小尤其通过以下方式受到限制：在缩小的传感器结构的情况下可能不能遵守或仅仅在高的耗费的情况下才能遵守对驱动频率、传感器灵敏度和/或制造公差的确定的要求。

发明内容

根据本发明的转速传感器以及根据本发明的用于制造转速传感器的方法相对于现有技术具有以下优点：提供具有三个敏感轴并且具有非常紧凑的构造型式的转速传感器。具有三个敏感轴的转速传感器在此也称作三通道的或者三轴的转速传感器。同时转速传感器如此配置，使得可以驱动第一振动质量和第二振动质量进行耦合的驱动振动或者驱动模式并且可以通过第二传感器结构借助同一个振动质量探测围绕不同旋转轴的第二转速和第三转速。第一或者第二传感器结构尤其具有偏转机构，从而驱动结构沿着某一驱动方向的驱动运动被转化为第一或第二振动质量沿着第一或第二振动方向的驱动振动。在此，尤其所述振动方向垂直于驱动方向地布置。根据本发明的具有三个敏感轴的转速传感器基于科里奥利原理并且例如可以用于汽车领域和/或消费电子领域，其中，由于小的结构尺寸和简单的构造型式而能够提供相对成本有利的转速传感器，其可相对多方面地使用。此外，通过与三个单个传感器相比紧凑的耦合的构造型式，可以在转速传感器将中布置比较简单的分析处理电路。通过根据本发明的转速传感器，尤其有利地可能的是，借助驱动结构的共同的驱动运动来驱动振动质量以分别探测围绕每一个旋转轴的转速。例如借助具有仅仅一个简单的直线运动的常规转速传感器例如仅仅能够探测围绕两个轴的旋转运动。尤其在此提供在驱动结构和振动质量之间的一种特殊的耦合形式，其中，布置包围第一振动质量和/或第二振动质量的偏转元件或者偏转框架，其将驱动结构的驱动运动转化为沿着第一振动方向的第一驱动振动和/或沿着第二振动方向的第二驱动振动。驱动结构尤其是驱动框架和/或是尤其接片状的驱动梁。第一振动质量尤其包括两个可以相互反相驱动的第一部分振动质量，所述两个第一部分振动质量配置用于探测围绕第一旋转轴的转速。特别优选地，第二振动质量包括可以反相驱动的第二部分振动质量和另一第二部分振动质量，其中，这两个第二部分振动质量中的每一个尤其同时探测围绕第二旋转轴的第二转速以及围绕第三旋转轴的第三转速。

本发明的有利的构型和扩展方案由参照附图的说明书得出。

按照一种优选的扩展方案设置，第一振动质量通过第一偏转元件与驱动结构耦合，和/或，第二振动质量通过第二偏转元件与驱动结构耦合，其中，所述第一偏转元件和/或第二偏转元件尤其如此配置，使得第一振动方向垂直于第二振动方向。按照另一种优选的扩展方案设置，所述第一偏转元件是包围所述第一振动质量的第一框架，所述第一振动质量与所述第一框架耦合，和/或其中，所述第二偏转元件是包围所述第二振动质量的第二框架，所述第二振动质量与所述第二框架耦合。由此有利地可能的是，提供紧凑的三轴转速传感器，其中，借助同一个驱动结构驱动传感器结构的所有振动质量。